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y$V{yh[: +msHQk5#$m 内容简介 <CmsnX Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 1I^Sv 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 =3SL&
:8 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 c)6Y.[). 讯技科技股份有限公司 3Yj}ra}
X0Oq lAw Sc~kO4 目录 fZ g*@RR Preface 1 'HcDl@E 内容简介 2 MthThsr7 目录 i fF[ g%?w 1 引言 1 f|^f^Hu:{ 2 光学薄膜基础 2 #!D5DK@+ 2.1 一般规则 2 o"1us75P 2.2 正交入射规则 3 }C&c=3V 2.3 斜入射规则 6 0~1P&Qs<
2.4 精确计算 7 -% fDfjP 2.5 相干性 8 49zp@a 2.6 参考文献 10 +li^0+3-' 3 Essential Macleod的快速预览 10 -5ec8m8 4 Essential Macleod的特点 32 uATBt 4.1 容量和局限性 33 -<O:isB 4.2 程序在哪里? 33 `(a^=e5 4.3 数据文件 35 F_Pd\Aq8 4.4 设计规则 35 w9PY^U.Y3e 4.5 材料数据库和资料库 37 Hf-F-~E 4.5.1材料损失 38 Mk9kGP% 4.5.1材料数据库和导入材料 39 7=AKQ7BB>b 4.5.2 材料库 41 uU\iji\ 4.5.3导出材料数据 43 6e*b;{d 4.6 常用单位 43 68!fcK 4.7 插值和外推法 46 =%
JDo 4.8 材料数据的平滑 50 UK<"|2^sT 4.9 更多光学常数模型 54 dCK-"#T! 4.10 文档的一般编辑规则 55 g0U
?s 4.11 撤销和重做 56 ~EM];i 4.12 设计文档 57 ,i,=LGn 4.10.1 公式 58 DRIv<=Bt 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 NE4fQi?3 4.10.3 沉积密度 59
k
WtUj 4.10.4 平行和楔形介质 60 p{J_d,JH 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Vwqfn4sx?i 4.10.4 性能 61 ^Bb_NcU 4.10.5 保存设计和性能 64 !!86Sv 4.10.6 默认设计 64 e`rY]X 4.11 图表 64 8#Z5-",iw 4.11.1 合并曲线图 67 80EY7#r@w 4.11.2 自适应绘制 68 dW`D?$(@, 4.11.3 动态绘图 68 $OD5t5eTsM 4.11.4 3D绘图 69 |@ HdTGD 4.12 导入和导出 73 QBy*y $ 4.12.1 剪贴板 73 ~-GDheA 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 9wAc&nl-Y 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Q=8
cBRe 4.13 背景 77 q':wSu u 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 [mPdT^h 4.15 生成Rugate 84 KIFx&A 4.16 参考文献 91 zFr} $ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 SA1/U 5.1 Jobs 92 FudD 5.2 创建一个新Job(工作) 93 +CT$/k 5.3 输入材料 94 U;GoC$b}| 5.4 设计数据文件夹 95 jZ!JXmVV 5.5 默认设计 95 '5U$`Xe1 6 细化和合成 97 \xxVDr. 6.1 优化介绍 97 F/SsiUBS 6.2 细化 (Refinement) 98 u&x K>7 6.3 合成 (Synthesis) 100 NR&9:? 6.4 目标和评价函数 101 |mmG
s 6.4.1 目标输入 102 61/zrMPn 6.4.2 目标 103 ELF`uWGE 6.4.3 特殊的评价函数 104 WN#lfn8 7 6.5 层锁定和连接 104 WtfOE@h 6.6 细化技术 104 L"I] mQvd 6.6.1 单纯形 105 `Qf
:PX3 6.6.1.1 单纯形参数 106 ZD%_PgiT 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 YXVJJd$U 6.6.2.1 Optimac参数 108 'kvFU_) 6.6.3 模拟退火算法 109 y
UAn~!s 6.6.3.1 模拟退火参数 109 k)V%.Eobf 6.6.4 共轭梯度 111 5]l7Z35 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 %i>e 6.6.5 拟牛顿法 112 vqOLSE"t*O 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 OX/.v?c 6.6.6 针合成 113 .p(l+ 6.6.6.1 针合成参数 114 ,nR8l 6.6.7 差分进化 114 l6c%_<P| 6.6.8非局部细化 115 \%Rta$O?S 6.6.8.1非局部细化参数 115 !muYn-4M 6.7 我应该使用哪种技术? 116 N"RYM~c7 6.7.1 细化 116 oz6+rM6MY 6.7.2 合成 117 UX`DZb+^ 6.8 参考文献 117 *P R_Y=v% 7 导纳图及其他工具 118 <-:@} |br 7.1 简介 118 #S%Y;ilq 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 `uZv9I" 7.2.1 四分之一波长规则 119 p
<=% 7.2.2 导纳图 120 !u{"] T: 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 \41)0,sEy 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 J.mewD!%z 7.5 斜入射导纳图 141 Z3So|M{v 7.6 对称周期 141 AY'?Xt 7.7 参考文献 142 NTXL>Q*e 8 典型的镀膜实例 143 O+p-1 C$\ 8.1 单层抗反射薄膜 145 w;@25=
| 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Ogke*qM 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 )6:]o&bZ 8.4 W-膜层 148 qD;v/,? 8.5 V-膜层 149 ^b!7R
<>~ 8.6 V-膜层高折射基底 150 M"5!s, 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ?QSx8d 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 4m~7 ~- h 8.9 四层抗反射薄膜 153 RmWfV 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 )@bH" 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Rw}2* 5#y 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 xR|eye R 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 P"9@8aLB 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 3Wb2p'V7$? 8.15十五层宽带抗反射膜 159 {LT4u]# 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 0^}'+t,lc 8.17 1/4波长堆栈 162 Ue3B+k9w 8.18 陷波滤波器 163 XK%W^a*x 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 EARfbb"SG7 8.20 褶皱 165 ~+<xFi 8.21 消偏振分光器1 169 #K#Mv/ 8.22 消偏振分光器2 171 ] `B,L*m6 8.23 消偏振立体分光器 172 S*CLt 8.24 消偏振截止滤光片 173 6c2ThtL 8.25 立体偏振分束器1 174 r2SJp@f 8.26 立方偏振分束器2 177 A3"1D 8.27 相位延迟器 178 nR o=J5tY 8.28 红外截止器 179 VZ2.w4b 8.29 21层长波带通滤波器 180 chO'Q+pw 8.30 49层长波带通滤波器 181 ~TG39*m 8.31 55层短波带通滤波器 182 $!F&>=o 8.32 47 红外截止器 183 DhWWN>I 8.33 宽带通滤波器 184 13.{Y) 8.34 诱导透射滤波器 186 i'!jx. 8.35 诱导透射滤波器2 188 G}P)vfcH 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 JN&MyA" 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 8B *E+f0 8.35 增益平坦滤波器 193 K}PvrcO1 8.38 啁啾反射镜 1 196 3s?v(1 {) 8.39 啁啾反射镜2 198
8>Du 8.40 啁啾反射镜3 199 Bw3F7W~l 8.41 带保护层的铝膜层 200 gHi~nEH 8.42 增加铝反射率膜 201 .'5'0lR5 8.43 参考文献 202 GB<R7J 9 多层膜 204 ^91sl5c8yD 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 N 8:"&WM 9.2 内部透过率 204 \|eJJC 9.3 内部透射率数据 205 "JzfL(yt 9.4 实例 206 v#<\:|XAg 9.5 实例2 210 :%/\1$3P 9.6 圆锥和带宽计算 212 _kn]#^ucCe 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 |h^K M 10 光学薄膜的颜色 216 GFdZ`i 10.1 导言 216 YO@hE> 10.2 色彩 216 fDU+3b 10.3 主波长和纯度 220 hz<|W5 10.4 色相和纯度 221 UvPp~N7, 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 M MAAHo 10.6 色差 226 qs!>tw 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 $Hp.{jw 10.8 颜色渲染指数 234 kU#:I9PO 10.9 色差计算 235 cy1\u2x_` 10.10 参考文献 236 o-SRSu 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 lir&e
9I+ 11.1 短脉冲 238 CxJfrI_W 11.2 群速度 239 J#6LSD@(O 11.3 群速度色散 241 xik`W!1S 11.4 啁啾(chirped) 245 7'_nc!ME 11.5 光学薄膜—相变 245 xJvLuzUD 11.6 群延迟和延迟色散 246 rW:iBq 11.7 色度色散 246 5{')GTdX> 11.8 色散补偿 249 .=Pm>o/, 11.9 空间光线偏移 256 'oC$6l'rQ 11.10 参考文献 258 (JevHdI*V 12 公差与误差 260 'To<T 12.1 蒙特卡罗模型 260 |xq}'.C 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 pz$_W 12.2.1 误差工具 267 xttYn]T 12.2.2 灵敏度工具 271 BwJNi6, 12.2.2.1 独立灵敏度 271 LPq2+:JpS 12.2.2.2 灵敏度分布 275 PdR >;$1 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 EtGH\?d~] 12.3 参考文献 276 NeY"6!;k 13 Runsheet 与Simulator 277 r k@UsHy 13.1 原理介绍 277 DWuRJ 13.2 截止滤光片设计 277 /M 0 p_4 14 光学常数提取 289 BApa^j\? 14.1 介绍 289 *7\W=- 14.2 电介质薄膜 289 e d_m +NM 14.3 n 和k 的提取工具 295 8,=G1c 14.4 基底的参数提取 302 pw!@Q?R 14.5 金属的参数提取 306 l x7Kw% 14.6 不正确的模型 306 otU@X 3<_ 14.7 参考文献 311 yP
x\ltG3 15 反演工程 313 Mz93 15.1 随机性和系统性 313 /;DjJpwf0 15.2 常见的系统性问题 314 o1U}/y+R\ 15.3 单层膜 314 #
2d,U\_ 15.4 多层膜 314 #`vVgGZ& 15.5 含义 319 ?J<T 15.6 反演工程实例 319 NNgK:YibD 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 kr#I{gF 15.6.2 反演工程提取折射率 327 9-b 8`|s 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 .U<F6I:<md 16.1 光学性质的热致偏移 329 1XCmMZ 16.2 应力工具 335 )R~a;?T_c0 16.3 均匀性误差 339 B9}E
{)T? 16.3.1 圆锥工具 339 L/)B}8m\ 16.3.2 波前问题 341 O'OFz}x), 16.4 参考文献 343 Gp,'kw"I 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 7g5@vYS+ 17.1 引言 345 YN/u9[=` 17.2 操作数 345 0:. 6rp 18 如何在Function中编写脚本 351 ;t|,nz4kJ 18.1 简介 351 9T$u+GX' 18.2 什么是脚本? 351 _@~PL>g"p 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 cg{Gc]'1# 18.4 基础 352 TQ?#PRB 18.4.1 Classes(类别) 352 KYf;_C,$ 18.4.2 对象 352 Y_+
SA|s 18.4.3 信息(Messages) 352 !j{CuA/ 18.4.4 属性 352 W=3? x 18.4.5 方法 353 IYLZ
+> 18.4.6 变量声明 353 e]+7DE 18.5 创建对象 354 e9lOk)`t 18.5.1 创建对象函数 355 T!(sZf 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 8]HY. $E 18.5.3 丢弃对象 356 T~h.=5 18.5.4 总结 356 "
<Qm
- 18.6 脚本中的表格 357 'aZASPn[ 18.6.1 方法1 357 y`6\L$c 18.6.2 方法2 357 7C?E z%a@ 18.7 2D Plots in Scripts 358 :kt/$S^- 18.8 3D Plots in Scripts 359 :s]\k%" 18.9 注释 360 12 -EDg/1 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 V,m3-=q 18.11 一个更高级的脚本 362 [8TS"ph> 18.12 <esc>键 364 lA]N04 d 18.13 包含文件 365 &*A:[b\ 18.14 脚本被优化调用 366 m2Q$+p@ 18.15 脚本中的对话框 368 WU7cF81$ 18.15.1 介绍 368 k/@Tr
: 18.15.2 消息框-MsgBox 368 :xtT)w 18.15.3 输入框函数 370 =gs~\q 18.15.4 自定义对话框 371 KJX>DL 9\ 18.15.5 对话框编辑器 371 K'V 2FTJI 18.15.6 控制对话框 377 9*DEv0}a^ 18.15.7 更高级的对话框 380 :T5A84/C 18.16 Types语句 384 y]
y9'5_ 18.17 打开文件 385 8+ hhdy*b 18.18 Bags 387 F)7j@h^ 18.13 进一步研究 388 +<{m45 19 vStack 389 h9jc,Xu5X 19.1 vStack基本原理 389 c})wD+1 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 op.d;lO@ 19.3 五棱镜 393 F<gMUDB 19.4 光束距离 396 n$xszuNJ` 19.5 误差 399 >uHb ^ 19.6 二向分色棱镜 399 ?M~
k$ 19.7 偏振泄漏 404 5VZjDg? 19.8 波前误差—相位 405 w&5/Zh[~~L 19.9 其它计算参数 405 ,_bp)-O G 20 报表生成器 406 }jiK3?e 20.1 入门 406 kT2Wm/L 20.2 指令(Instructions) 406 fM2^MUp[=1 20.3 页面布局指令 406 kV+ R5R 20.4 常见的参数图和三维图 407 (0}j]p'w 20.5 表格中的常见参数 408 z37Z%^ 20.6 迭代指令 408 \XDmK 20.7 报表模版 408 cJ/4Gl 20.8 开始设计一个报表模版 409 4DM*^=9E 21 一个新的project 413 xl,ryc3J 21.1 创建一个新Job 414 1$( 21.2 默认设计 415 |6*Va%LYO- 21.3 薄膜设计 416 Ld~ q1*7J 21.4 误差的灵敏度计算 420 Wn~ZA# 21.5 显色指数计算 422 bw5T2wYZ 21.6 电场分布 424 )qd={ 后记 426 37jQ'O
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