摘要
s8C:QC Idt@Hk5<& 当
光栅的特征尺寸与
波长相当时,具有
偏振相关的
光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高
衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
nsy!p5o zp}yiE!bl `;R|V L>eQ*311 建模任务
VNr!|bp5 4+ykE: X}kVBT1w+x 光栅特性与参数的严格分析
w}fqs/)w xtG)^x! 不同光栅周期下的衍射效率
W5M
] 3ZLr"O1l ) \3,$YlG ~]jx+6k] 关于光栅周期选择的考虑
qFB9,cUqh aU,0gvI(} HE8'N=0 3(>(lk 偏振相关的衍射特性
u66TrYS tG y=y/d>=w ]=O{7# r! cNc e<&_tx mg/C Ux WMt&8W5 ]0at2 通过参数优化进行光栅设计
&6=TtTp"9 XY&]T'A 固定周期的2D参数优化
(Q*2dd> yHV^a0e7EH v]UU&Jq8U 2D参数优化–设计1
5pN08+ eUGmns )eIz{Mdp= 0jl:Yzo&\ 2D参数优化–设计2
^H@!)+
= 7zz(# >n@>h$] WHdqO8 制造
公差分析–设计2
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^ dT*f-W tIg CF? ]DL>
.<]d 变化光栅周期的3D参数优化
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. 0e7O#- 3\+[38 _ x _YV{ 制造公差分析
7k[`]:*o P %U9S W? 6 :c+a-Py
$E 走进
VirtualLab Fusion
A1=$kzw{UH tOlzOBzR w2M
IY_N? ps{&WT3a VirtualLab Fusion中的工作流程
?$`1%Y9 8O;rp(N.n MFCbx># ]ZU:%Qhu •构造光栅
结构 S|=rF<]my −通过使用界面来配置光栅结构
O
#p)~V8~ [用例]
S{`!9Pii •分析光栅衍射效率
M25z<Y −光栅级次分析器[用例]
%3@RZe •使用参数运行搜索初始解决方案
J T0,Z −参数运行文档的使用[用例]
xYzcV%-Pm •通过参数优化找到最终设计
D3ZT'' <whPM VirtualLab Fusion技术
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