摘要
h@$M.h@mcG HpI[Af}l 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
(7w`BR9B ,ZyTYD|7 e=KA|"vxh F$Q(2:w 建模任务
xk=5q|u_- ;' !G?)PZ b!VaEK 仿真干涉条纹
Y*iYr2?; qYj
EQz .L'>1H]B 走进VirtualLab Fusion
mXnl-_ QjMH1S DYlu`j_ux }9[E+8L1 VirtualLab Fusion中的工作流程
H8j#rC#&pm F"xD^<i •设置输入场
F8S -H" −基本光源
模型[教程视频]
Y85M$]e, •使用导入的数据自定义表面轮廓
>YuBi:z •定义元件的位置和方向
}=Yvs) − LPD II:位置和方向[教程视频]
+VSJve | •正确设置通道以进行非
序列追迹
&6nOCU) −非序列追迹的通道设置[用例]
3B:U>F,]4 •使用
参数运行检查影响/变化
a[iuE` −参数运行文档的使用[用例]
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