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摘要 }e|cszNRd L~/L<M s |L*=\%t8 {tYY
_BI< 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 E
el* P M C@;e< 建模任务 IAbQgBvUD VZ IY=Q>g R68:=E4 }.s%J\ckx 由于组件倾斜引起的干涉条纹 K:9AP{+ ]Vj($O: NsS;d^%I M_+W5Gz< 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 Tei2[siA5 34CcZEQQ vx7=I\1 7V@r^/`8N 文件信息 P3!@}!r8 L[:AU e :G98uX t
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