[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 `!omzE*bk5  
MO~~=]Y'  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 }>;ht5/i/  
A!ioji+{[  

图片:1-191204120226228.png

D,dHP-v  
c/=y*2,zo  
2. 建模任务 uqa4&2(I=j  
iL0jpa<}  

图片:1-19120412030c28.png

^s2m\Q(  
,zN3? /7  
3. 干涉条纹的变化 jKj=#O
 
j(%gMVu  

图片:1-191204120352336.png

)ew[ Ak|  
NDRW  
4. 走进VirtualLab Fusion $K?T=a;z  
^)OZ`u
8  

图片:1-1912041204141I.png

e|b~[|;*=  
rmPne8D=c(  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程 1C0Y0{6,  
coF T2Pq  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

图片:1-191204120454308.png

*U;4t/(  
h"u<E\g  
6. VirtualLab Fusion 技术 q}<.x8\  
JFG",09]  

图片:1-19120412051Q53.png