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:FnOS<_B 内容简介 gzor%)C Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 T'hml 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 /Z:N8e 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 }.'Z=yy 1XG$ z@NN 讯技科技股份有限公司 "hW(S
*yrnK3 目录 H \ 3M Preface 1 |,3l`o
k 内容简介 2 KL
"Y!PN: 目录 i
KZ]r8 1 引言 1 for{ 2 光学薄膜基础 2 fVYiwE=F 2.1 一般规则 2 5)mVy?Z 2.2 正交入射规则 3 dPHw3^J0j 2.3 斜入射规则 6 ai4PM
b$p 2.4 精确计算 7 [KMS<4t' 2.5 相干性 8 N3ZiGD 2.6 参考文献 10 t')h{2&&!2 3 Essential Macleod的快速预览 10 jA,|JgN|n 4 Essential Macleod的特点 32 h77IWo6% 4.1 容量和局限性 33 Lj iI+NJ 4.2 程序在哪里? 33 9/G!0uE 4.3 数据文件 35 ^+M><jE9 4.4 设计规则 35 +I&J7ICV0 4.5 材料数据库和资料库 37 L%f;J/ 4.5.1材料损失 38 b7!UZu]IEv 4.5.1材料数据库和导入材料 39 m*gj|1k 4.5.2 材料库 41 C,.-Q"juH 4.5.3导出材料数据 43 ms7SoYbSu 4.6 常用单位 43 ?s%v 3T 4.7 插值和外推法 46 ' X}7]y 4.8 材料数据的平滑 50 AQe!Sqg' 4.9 更多光学常数模型 54 ?NlSeh 4.10 文档的一般编辑规则 55 K}Na3}m 4.11 撤销和重做 56 U%q:^S%#eG 4.12 设计文档 57 ~Zmi(Ra 4.10.1 公式 58 [%jxf\9jJ_ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 E`tQe5K 4.10.3 沉积密度 59 N#UXP5C( 4.10.4 平行和楔形介质 60 rCE;'? Y 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 dnwdFsf 4.10.4 性能 61 Y#`Lcg+r, 4.10.5 保存设计和性能 64 }'TTtV:Q 4.10.6 默认设计 64 !y%+GwoW 4.11 图表 64 6Hwxx5>r 4.11.1 合并曲线图 67 9Eg&CZ,9$D 4.11.2 自适应绘制 68 { V0>iN:~S 4.11.3 动态绘图 68 %9X{{_ 4.11.4 3D绘图 69 XCm\z9F 4.12 导入和导出 73 }%x}fu# 4.12.1 剪贴板 73 C3)|<E 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ~0ooRUWU7 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Mn@$;\: 4.13 背景 77 r4?b0&Xq 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 >t0%?wj)Y 4.15 生成Rugate 84 +2Ql~w@$^l 4.16 参考文献 91 61Bhm:O5W 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 69/?7r 5.1 Jobs 92 88g47>{X 5.2 创建一个新Job(工作) 93 s^cc@C 5.3 输入材料 94 {i>Jfl]G} 5.4 设计数据文件夹 95 thptm 5.5 默认设计 95 5oJ Dux } 6 细化和合成 97 z,x"a 6.1 优化介绍 97 ,1
P[ 6.2 细化 (Refinement) 98 ~ezCu_ 6.3 合成 (Synthesis) 100 (Y2mmd 6.4 目标和评价函数 101 sAYV)w3u" 6.4.1 目标输入 102 l{5O5%\, 6.4.2 目标 103 Gs_qO)~xo 6.4.3 特殊的评价函数 104 sa9fK Z'q 6.5 层锁定和连接 104 ej52AK7 6.6 细化技术 104 j{;|g%5t 6.6.1 单纯形 105 qo_]ZKL44 6.6.1.1 单纯形参数 106 Me/\z^pF 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 6/6Rah! 6.6.2.1 Optimac参数 108 EZib1g&:R/ 6.6.3 模拟退火算法 109 [@3SfQ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Yj|]Uff8O 6.6.4 共轭梯度 111 .45^=2NGmQ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 JUQg 'D 6.6.5 拟牛顿法 112 ZPyM>XK$4 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 s4$X 6.6.6 针合成 113 (ua q<Cvg 6.6.6.1 针合成参数 114 %hINpZMr 6.6.7 差分进化 114 k|FSz#Y 6.6.8非局部细化 115 62kb2C 6.6.8.1非局部细化参数 115 {155b0 6.7 我应该使用哪种技术? 116 eg3L:rk_ 6.7.1 细化 116 WeC(w+}p 6.7.2 合成 117 \zu}\{ 6.8 参考文献 117 iYKU[UP? 7 导纳图及其他工具 118 p)3nyN=|_ 7.1 简介 118 -;pOh;WG 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 ,w2WS\`% 7.2.1 四分之一波长规则 119 @B`Md3$7 7.2.2 导纳图 120 R#qI(V 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 O?ktWHUx 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 OVR?*"N_ 7.5 斜入射导纳图 141 ~HmxEk9 7.6 对称周期 141 T'1gy} 7.7 参考文献 142 =yqHC<8: 8 典型的镀膜实例 143 VVuR+=.& 8.1 单层抗反射薄膜 145 DMZ`Sx 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 &U"X$aFc 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 c+2%rh1 8.4 W-膜层 148 L.B~ax.|Z 8.5 V-膜层 149 D.*>;5:0' 8.6 V-膜层高折射基底 150 J`oTes, 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 i- lKdpv 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 [X/(D9J 8.9 四层抗反射薄膜 153 r,xmEj0E 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 _%Z P{5D> 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 6>DLp}d 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 BU6Jyuwn 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 4D"4zp7 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Z]vL%Gg*! 8.15十五层宽带抗反射膜 159 ;h~er6& 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 1R*=.i%W 8.17 1/4波长堆栈 162 Y=2Un).& 8.18 陷波滤波器 163 C1QV[bJK 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 Y~qb;N\ 8.20 褶皱 165
c Zvf"cIs 8.21 消偏振分光器1 169 uGCp#>+ 8.22 消偏振分光器2 171 YaL]>.;Z:" 8.23 消偏振立体分光器 172 Hwu4:^OL| 8.24 消偏振截止滤光片 173 "C74 8.25 立体偏振分束器1 174 {1~T]5 8.26 立方偏振分束器2 177 :ejJV
6. 8.27 相位延迟器 178 uLV BM]Qj 8.28 红外截止器 179 };S0 G! 8.29 21层长波带通滤波器 180 n29(!10Px 8.30 49层长波带通滤波器 181 #a,9B-X 8.31 55层短波带通滤波器 182 kMxjS^fr 8.32 47 红外截止器 183 vV^dm)? 8.33 宽带通滤波器 184 C;qMw-*F 8.34 诱导透射滤波器 186 yA;W/I4 8.35 诱导透射滤波器2 188 }htPTOy5 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Ty+I8e]{ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 Tbf:eVIG 8.35 增益平坦滤波器 193 [,g~m9 8.38 啁啾反射镜 1 196 !buz<h 8.39 啁啾反射镜2 198 LM.`cb;?G 8.40 啁啾反射镜3 199 QxpKX_@Q5 8.41 带保护层的铝膜层 200 -t3i^&fj8 8.42 增加铝反射率膜 201 JP'=
UZ' 8.43 参考文献 202 PW)aLycPK 9 多层膜 204 \Tm}mAvK/o 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 T+CajSV 9.2 内部透过率 204 %l$W*.j|; 9.3 内部透射率数据 205 u\g,.C0 9.4 实例 206 va,~w(G 9.5 实例2 210 "s_Z& 9.6 圆锥和带宽计算 212 vVVPw?Ww- 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 v?j!&d> 10 光学薄膜的颜色 216 ([LIjaoi 10.1 导言 216 R$6qoqv{yG 10.2 色彩 216 "JT;gaEm 10.3 主波长和纯度 220 rC }}r!! 10.4 色相和纯度 221 &u8z5pls8 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 )#[|hb=o 10.6 色差 226 flnVYQe 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 rFu ez$ 10.8 颜色渲染指数 234 C}"@RHEu 10.9 色差计算 235 ZkWL_ H) 10.10 参考文献 236 j_Nm87i] 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 c`kQvXx 11.1 短脉冲 238 h-XY4gq/ 11.2 群速度 239 tXq)nfGe{ 11.3 群速度色散 241 nSS=%,? 11.4 啁啾(chirped) 245 BD*G1k_q 11.5 光学薄膜—相变 245 )=_ycf^MC 11.6 群延迟和延迟色散 246 LmLGki$w 11.7 色度色散 246 ]gP5f @` 11.8 色散补偿 249 JN[0L: 11.9 空间光线偏移 256 PT]GJ<K/ 11.10 参考文献 258 I}.i@d'O 12 公差与误差 260 k-jahm4 12.1 蒙特卡罗模型 260 o`? zF+M0 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 E zT`,#b 12.2.1 误差工具 267 ;l!`C' :' 12.2.2 灵敏度工具 271 GozPvR^/ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 >^SEWZ_[ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 qX6D1X1_ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 \}dyS8 12.3 参考文献 276 92[a;a 13 Runsheet 与Simulator 277 VmvQvQ/9R 13.1 原理介绍 277 3W&S.$l 13.2 截止滤光片设计 277 =G${[V\ 14 光学常数提取 289 hIU(P Dl4 14.1 介绍 289 Yl({)qK{ 14.2 电介质薄膜 289 ;YH[G;aJ 14.3 n 和k 的提取工具 295 qqOFr!)g 14.4 基底的参数提取 302 #R5U
14.5 金属的参数提取 306 8Y{s;U0n 14.6 不正确的模型 306 mTf< 14.7 参考文献 311 PCE4W^ns 15 反演工程 313 1FERmf? ?d 15.1 随机性和系统性 313 5Ec/(-F 15.2 常见的系统性问题 314 ;Icixu'O 15.3 单层膜 314 `
\ZqgX4 15.4 多层膜 314 lU.Kc 15.5 含义 319 %1}6q`:w 15.6 反演工程实例 319 >k(MUmhX 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 zx%X~U 15.6.2 反演工程提取折射率 327 H lB]38 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 :qj<p3w~} 16.1 光学性质的热致偏移 329 4s.]M>Yb 16.2 应力工具 335 RFfIF]~3 16.3 均匀性误差 339 Poy^RpnX 16.3.1 圆锥工具 339 Mr3-q 16.3.2 波前问题 341 ")UwkF 16.4 参考文献 343 q]c5MlJXF 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 JK)qZ= 17.1 引言 345 -$-8W 17.2 操作数 345 h*l&RR:i 18 如何在Function中编写脚本 351 6|;Uq' 18.1 简介 351 \caH pof 18.2 什么是脚本? 351 ^DAu5 |--R 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 /@Y CA}|/ 18.4 基础 352 wEEn? 18.4.1 Classes(类别) 352 C/@LZ OEL 18.4.2 对象 352 cxyM\@QB3 18.4.3 信息(Messages) 352 ?S[Y:<R{: 18.4.4 属性 352 1~yZ T 18.4.5 方法 353 B6M+mx"G 18.4.6 变量声明 353 1{PG>W 18.5 创建对象 354 gS9>N/b| 18.5.1 创建对象函数 355 Z~u9VYi! 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 q31>uF 18.5.3 丢弃对象 356 P,z:Z|}8 18.5.4 总结 356 9;=dxWf 18.6 脚本中的表格 357 `!4,jd 18.6.1 方法1 357 Akk
3 Qx 18.6.2 方法2 357 "8<K'zeS8 18.7 2D Plots in Scripts 358 M"Y0jQ( 18.8 3D Plots in Scripts 359 0Y+FRB]u 18.9 注释 360 lP_db& 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 e@]-D
FG 18.11 一个更高级的脚本 362 Af-UScD%G 18.12 <esc>键 364 TwahR:T 18.13 包含文件 365 dQ:cYNm 18.14 脚本被优化调用 366 4_=Ja2v8;` 18.15 脚本中的对话框 368 Paf%rv2 18.15.1 介绍 368 2YBIWR8z 18.15.2 消息框-MsgBox 368 t#wmAOW 18.15.3 输入框函数 370 smy}3k 18.15.4 自定义对话框 371 QWO]`q`| 18.15.5 对话框编辑器 371 LBlN2)\@ 18.15.6 控制对话框 377 <iLM{@lZvJ 18.15.7 更高级的对话框 380 YZwaD b 18.16 Types语句 384 X(AN)&L[ 18.17 打开文件 385 ;`j/D@H 18.18 Bags 387 #bnb': f 18.13 进一步研究 388 +s[\g>i 19 vStack 389 @4GA^h 19.1 vStack基本原理 389 u?H 2%hD 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 bud&R4+ 19.3 五棱镜 393 ERMa# L 19.4 光束距离 396 l]LxL 19.5 误差 399 P,xwSvO#M 19.6 二向分色棱镜 399 0D&> Gyc*0 19.7 偏振泄漏 404 |Ul,6K@f"5 19.8 波前误差—相位 405 G=/k>@Di 19.9 其它计算参数 405 7}o/: 20 报表生成器 406 l?q qqB 20.1 入门 406 |zsbW9
W*m 20.2 指令(Instructions) 406 LF<wt2?* 20.3 页面布局指令 406 #2p#VQh 20.4 常见的参数图和三维图 407 [0;buVU. 20.5 表格中的常见参数 408 [ AzO:A 20.6 迭代指令 408 a:rX9-** 20.7 报表模版 408 Kx`/\u=/ 20.8 开始设计一个报表模版 409 S33j?+Vs 21 一个新的project 413 q0xjA 21.1 创建一个新Job 414 J5p8nmb 21.2 默认设计 415 Wr~yK? : ] 21.3 薄膜设计 416 +%*&.@z_ 21.4 误差的灵敏度计算 420 D56<fg$ 21.5 显色指数计算 422 YV'pVO'_+ 21.6 电场分布 424 |`rJJFA 后记 426 /Ft:ffR|R 精装版镀膜工具书,有兴趣可以扫码加微联系 .K8w8X/3 n(ir[w#,]"
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