摘要
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g 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
vv/J 5#^,\ ^l !L)iw <k]qH-v4 F~_;o+e;X 设计任务
nGrVw& L2|aHI1'l #@Y/{[s|@ Sz0+<F#5 1级
参数优化
!R:y'Y%j tWD|qg_ 9*}gl3y ek)Xrp:2 结果-容差分析
XDLEVSly7 JSW&rn 8$}OS- 9L)L|4A.l 结果-容差分析
c8DZJSO L11L23: .JAcPyK^ _CdROo6I VirtualLab Fusion一瞥
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5 H?{ ^M
Ey, |9,UaA VirtualLab Fusion中的工作流程
((MLM3zJ 1d v=xe. 构建光栅结构
h<3p8eB −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
$qm~c[x% −倾斜光栅高级设定[用例]
>XE`h9 •光栅衍射效率分析
Hg(5S,O2 −光栅阶序分析器[用例]
Rd! 2\| •使用参数优化进行光栅参数优化
Tbh '_F6 •使用参数运行的容差分析
x9V {R9_gf 9<cOYY uO'/|[`8 \P?A7vuhLs VirtualLab Fusion技术
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