[技术]高衍射效率的偏振无关透射光栅的分析与设计 [复制链接]

摘要 lD1m<AC  
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光栅，特别是具有与波长相当的特征尺寸的光栅，具有偏振相关的光学特性。 这使得设计的具有高衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al，Proc. SPIE 5252,174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 #J*hZ(Pq  
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设计任务  D
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光栅特性与参数的严格分析 2$yNryd  
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不同光栅周期的衍射效率 Dq9*il;'  
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考虑光栅周期的选择  t'e5!Ma  
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偏振相关衍射特性 5/m}v'S%  
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偏振相关衍射特性 ({WV<T&  
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基于参数优化的光栅设计 4>(
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具有固定周期的二维参数优化 b VcA#7 uA  
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二维参数优化 - 设计＃1 
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二维参数优化 - 设计＃2 IRT0   
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制造公差分析 - 设计＃2  aS,  
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不同光栅周期的三维参数优化 W7"UhM  
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制造公差分析 nt$q< 57  
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VirtualLab Fusion技术 61](a;Di  
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