摘要
J, U~.c iEO2Bil] 高数值孔径
物镜广泛用于
光学光刻、
显微镜等。因此,在聚焦
模拟中考虑光的矢量性质是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持这种
镜头的
光线和光场追迹分析。 通过光场追迹,可以清楚地展示不对称焦斑,这源于矢量效应。 照
相机探测器和电磁场探测器为聚焦区域的研究提供了充分的灵活性,并且可以深入了解矢量效应。
PEhLzZX+ Q#bo!]H{t ~OfKn1D / UBAQ8TR 建模任务
SvJ8Kl OV I=I%e3GEm mw.aavB }eK*) 入射平面波
vxZUtyJfe 波长 2.08 nm
@TG~fJSA12 光斑直径: 3mm
`G{t<7[[; 沿x方向线偏振
^?`,f>`M 'v)+S;oB 如何进行整个
系统的光线追迹分析?
v)pWx0l= 如何计算包含矢量效应的焦点的强度分布?
o?8j*] 5mBk[{ 概览
cne[-E •样品系统预设为包含高数值孔径物镜。
</Lqk3S-! •接下来,我们将演示如何按照VirtualLab中推荐的工作流程对样本系统进行模拟。
~qxc!k!w4 GoXHVUyp AG=1TZI" 光线追迹模拟
Ctx K{: •首先选择“光线追迹系统分析器”(Ray Tracing System Analyzer)作为模拟引擎。
EFO Q;q •点击Go!
M,lu)~H •获得3D光线追迹结果。
x&p=vUuukP |%9~W^b _Y~?. hs^ G_o4A:2 光线追迹模拟
L1+cv;t •然后,选择“光线追迹”(Ray Tracing)作为模拟引擎。
$nN$" •单击Go!
"fwuvT
1 •结果,获得点图(2D光线追迹结果)。
ThB2U(Wf EaL+}/q& 3<lDsb(}0A ymqhI\>y# 光场追迹模拟
CjCnh7tm •切换到“第二代场追迹”(Field Tracing 2nd Generation)作为模拟引擎。
]sE^=;Pv? •单击Go!
'?4[w]0J< .!! yj,bQz ?whp_ rkp0ej2- 光场追迹结果(照相机探测器)
N~YeAe~+ CQ ?|=cN •上图仅显示Ex和Ey场分量的强度。
]|(?i ,p •下图通过整合Ex、Ey和Ez分量显示强度:由于高数值孔径情况下相对较大的Ez分量,可以看到明显的不对称性。
Nrh`DyF0D! ^.7xu/T umYdr'p!v z@}~2K 光场追迹结果(电磁场探测器)
==9Ez a!.8^:B& •通过使用电磁场探测器获得所有电磁场分量。
!Ai;S Orgje@c{ P*Nl3?T I-I5^s ([A;~ p;n _\zfXHp ~<3yTl> 'rgV]Oy