摘要
u(~s$ENl xj~6,;83xR 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
%!=YNm Q3KBG8 h]=chz z^b\hR 设计任务
+X?jf.4 $_ NaxV /;lk.-yU vx4&
;2 1级
参数优化
qJK^i.e Wu}Co ~q4y'dBy* ydFY<Mb(o 结果-容差分析
rvG qUmSUs XmnqZWB 0hv[Ff ?y
'.sQ 结果-容差分析
Q\rqG |-R::gm ;'Y?wH[ 1dq.UW\ VirtualLab Fusion一瞥
v_ J.M ] 5 4OYAkPCk ~\/ J& 4H,DG`[Mo VirtualLab Fusion中的工作流程
-`;8~ wMN s,}<5N]U 构建光栅结构
jmb\eOq+~V −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
.SsIU\[) −倾斜光栅高级设定[用例]
\x+DEy'4;5 •光栅衍射效率分析
z~BB|-kp1 −光栅阶序分析器[用例]
5FzRusNiA •使用参数优化进行光栅参数优化
Uyh •使用参数运行的容差分析
l?~ci
;lG <hea%6 EW!$D Brl6r8LGi VirtualLab Fusion技术
/X:lt^?%I zPmVECS