[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 
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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 V/"}ku  
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建模任务 S{p}ux[}=  
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仿真干涉条纹 59B&286
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走进VirtualLab Fusion MonS hIz  
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VirtualLab Fusion中的工作流程 o;`
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•设置输入场 xRDiRj  
−基本光源模型[教程视频] `1p 8C%  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 FWPW/oC  
•定义元件的位置和方向 A
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− LPD II：位置和方向[教程视频] zTCP)x  
•正确设置通道以进行非序列追迹 "S(X[Y'  
−非序列追迹的通道设置[用例] C|z%P}u#p  
•使用参数运行检查影响/变化 X<MpN5%|Wo  
−参数运行文档的使用[用例] -S; &Q'Mt  
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VirtualLab Fusion技术 \3{3ly~L  
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