[技术]用阿贝判据研究显微系统的分辨率 [复制链接]

摘要 AfmGA9  
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显微系统的分辨率一般用阿贝判据进行表征。这也解释了物镜的数值孔径(NA)决定了光栅(作为样本)衍射阶在其后焦平面上的滤波。当高衍射级次的衍射被滤除后，像面不会发生干涉，因此不会成像。本实例演示了数值孔径NA对滤波效果和分辨率的影响。 EsR_J/:Qe  
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1. 案例 &9bsTm  
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在VirtualLab Fusion中构建系统 q]F2
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1. 系统构建模块 &|('z\k  
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2. 组件连接器 *:r@-=M3=  
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几何光学仿真 h=6Zvf<x  
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以光线追迹 *,g|I8?%VD  
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1. 结果：光线追迹 "N'tmzifh  
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快速物理光学仿真 *nUD6(@g  
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以场追迹 X`kTbIZ|  
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1. NA=1.4时的光栅成像 \T)
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2.  NA=0.75时的光栅成像 s=0z%~H  
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3. NA=0.5时的光栅成像 =0,:w(Sb!  
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