摘要
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`j._G
~C-Sr@ a?/ 高数值
孔径的
物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在
仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。
VirtualLab可以支持此类
透镜的
光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。
相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。
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pP\Cwo #, {1GJ,['qL 建模任务
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R!VfTAv 概述
6(|mdk`i ,n|si# •案例
系统已预先设置了高数值孔径物镜。
Iil2R }1 •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。
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p^l#Wq5 7T [~~V^x 光线追迹仿真
Sn:>|y~ UhB +c •首先选择“光线追迹系统分析器”作为
模拟引擎。
E4# { &sRT •单击go！
OM'iJB6= •获得了3D光线追迹结果。
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Scr,z ]l7W5$26 @ 
+]l?JKV YOxgpQ:i 光线追迹仿真
q|5WHB VO#rJ1J •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。
?o<vmIge •单击go！
(6,:X •结果得到点图（二维光线追迹结果）。
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X9DA 
x ;ik
@kX uC< 场追迹仿真
=D zrM% X[z;P!U •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。
B'/U#>/ •单击go！
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8X;?fjl`" &o L"AJU 场追迹仿真（相机探测器）
y"?`MzcJ0 G<Z}G8FW^ •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。
hV3]1E21" •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。
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b[vE!lJEq -]EL|_; 场追迹仿真（电磁场探测器）
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B •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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c+;`X •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
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