摘要
9Z#37) 2%WZ-l!i Ke,-8e#Q 6W#+U< 在
VirtualLab Fusion中,用户可以在
光学表面定义任意区域。
光栅界面/堆栈可以添加到这个区域内。为了在区域内简便地定义光栅的方向,可以使用两个
角度:“指向(关于z轴旋转)”和“关于y轴旋转180”。这个用例展示了如何设置这两个角度去控制某个区域内光栅的方向。目前仅在Waveguide工具箱中支持光栅区域的设置。
nP0}vX)< c&R . 建模任务
W#??fae %\-+SeC A.<X78!^ {5_*f)$[H 在一个表面的光栅区域中定义光栅方向,使用了“
0<>iMr D ─ 指向(关于z轴旋转),使用锯齿光栅说明。
)8 iDjNM< ─ 关于y轴旋转180,使用矩形光栅说明。
<{cPa\ J qU%$[w 示例
8#oF7eE v4Nb/Y *|` ' L huN(Q{fj 通过设置光栅和界面的坐标系的关系,可以定义界面上的光栅方向。
fA+M/}= ─ 蓝色坐标系代表光栅坐标系,黑色坐标系代表界面坐标系。
z?7s'2w&{ ─ 通过设置指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))和关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180),在界面坐标系中,光栅坐标系进行了旋转。
!`aodz*PO ─ 我们还将在远离光栅的
探测器平面中显示
衍射阶数,以给出光栅方向。
B8IfE` 4wNxn
lP 关于z轴旋转的图示
WxXVL" mCq*@1Lp9 33u7 c 9ghR0WM 使用锯齿光栅说明指向(关于z轴旋转)(Orientation (Rotation about z-Axis))。
C-2n2OM. 光栅关于y轴是非对称的,所以+1st和-1st阶的衍射效率并不是对称的。所以,我们可以很容易地从检测到的衍射阶数看到光栅旋转引起的效果。
Gn_v}31d% ltD:w{PO] 指向(关于z轴旋转):0°
2_Pe/ uM4,_)L xK_$^c. a%-Yl%# 注意:默认坐标系的所有基本矢量(x,y,z矢量)完全相同。
"#m*`n 6=H-H\iw 指向(关于z轴旋转): 30°
tPp}/a%D p=r{ODw#3 tL
IE^ Q!|71{5U 注意:方向角度的定义为:
RF6|zCWuI ─ 关于界面坐标轴。
9ge$)q@3 ─ 逆时针方向。
j}ruXg f<zh-Gq 指向(关于z轴旋转): -90°
Xi|v!^IT W``e6RX- $jc>?.6 61C&vm 注意:方向角度非常灵活,可以根据用户偏好定义为从-360到360任意值。
rAQ^:q =]Ek12. 关于y轴旋转180°示例
d&U;rMEv m<076O4|` oiR`\uY jEI!t^# 使用矩形光栅界面(注意光栅堆栈也可以放在界面上)说明关于y轴旋转180(Rotation about y-Axis by 180)。当相对狭缝占宽不是50%,界面两侧介质固定时,旋转前和旋转后给出了两种不同的光栅堆栈,这导致了衍射效率的不同分布。
lL83LhE}< ^\wosB3E 关于y轴旋转180°(未选中)
yBr{nFOgdY GvVuF S>y ,f1+jC \zoJr) 注意:
|0Zj/1<$ 默认时,为了保持光栅坐标系和界面坐标系的重叠,光栅添加到光学界面的右侧(z轴和z‘轴相同)。
o@>5[2b4 坐标系定义与光栅工具箱中稍有不同,因为在光栅工具箱中:
T&0tW"r? ─ 如果光栅界面加在衬底的第一层界面,其z轴和x轴与平面界面的方向完全相反。
@{$SjR8Q $ ─ 如果光栅界面加在衬底的第二层界面,坐标系完全相同,但与此处相比(假设衬底是二氧化硅)第二个界面前后的
材料相反。
JE?XZp@V %ZZ}TUI W 关于y轴旋转180(选中)
0umfC "iKK&%W #p[=iP w}2yi#E[ 注意:
&MKv_ 矩形光栅界面关于光学界面的y轴旋转180,所以看到光栅接口两侧的材料都切换了,所以光栅堆栈变成了例2.
, n
EeI& g xLA1]>{ 例1和例2的附加信息
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