摘要
}.k*4Vw#Wt MUW&m2 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
qokCVI-\ |>zYUT[V %M5{-pJ|C 93VbB[w~7F 建模任务
uA[c$tBe +4g H=6 <8iu :nR 仿真干涉条纹
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{ OB4nE}NO 7!g"q\s 走进VirtualLab Fusion
91\Sb:> SpC6dkxD\ 34F;mr"yp O|AY2QH\ VirtualLab Fusion中的工作流程
JUCp#[q ],-(YPiAD •设置输入场
Am@:<J −
基本光源模型[教程视频]
-P:o ^_)g •使用导入的数据自定义表面轮廓
XGb*LY+Db6 •定义元件的位置和方向
Tf40lv+{ −
LPD II:位置和方向[教程视频]
`$t|O&z •正确设置通道以进行非
序列追迹
Y(&rlL(sPK −
非序列追迹的通道设置[用例]
gvFs$X*^: •使用
参数运行检查影响/变化
-q30tO. −
参数运行文档的使用[用例]
Q2 Dh( +z|@K=d#| ER,!`C] xnOd$] VirtualLab Fusion技术
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