[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 Hqv(X=6E0  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 QG ia(  
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建模任务 14O/R3+  
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i[swOYz]X  
模拟&设置：单平台互操作性 +`xp+Q  
建模技术的单平台互操作性 GfV9Ox   
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 Y|bGd_j  
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 平面波光源 ]|oqJ2P  
 微透镜阵列 a&JAF?k  
 彩色滤光片(吸收介质)
Fc Cxr@  
 通过基底传播 HukHZ;5  
 探测 SJfsFi?n  
S<44{ oH  
连接建模技术：微透镜 ft5Bk'ZJ  
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NGxuwHIQ8  
x!J L9  
连接建模技术：彩色滤光片 "o`( k
YSF  
gS!M7xy  

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=1D*K%  
连接建模技术：可编程介质 a&&EjI  
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^T"A9uaG  
连接建模技术：自由空间传播 >?5`F
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&{8 "- dw  
dJkTHmw  
连接建模技术：堆栈 gpPktp2  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 bF3j*bpO"  
Z"P{/~HG  

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E;N+B34  
Q)v8hNyUmA  
 微透镜阵列 Bk8U\U
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 彩色滤光片(吸收介质) E3`KO'v%  
 通过基底传播 r+>9O  
 探测 9,,1\0-T*  
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元件内场分析器：FMM GU!|J71z  
4*'NpqC(_  

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}D0j%~&"e  
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模拟结果 p/@z4TCNX  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) m|p}Jf!  
AX6e}-S1n  

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u6I# D _  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) 2 !{P<   
GlVq<RG*  

图片:1-2310262131263Q.png

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UUX _x?BD  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) y![h  
RL($h4d9  

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WpRi+NC}ln  
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3D仿真与结果比较 G>cTqD6gT  
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3D仿真与结果比较 P%.9g  
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