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摘要 o! aLZ3#X 0HGl f
wP[xmO-% :83,[;GO2 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 si_W:mLF{a $4Z+F#mx 建模任务 BjJ,"sT 2O
eshkE _fcS>/<a )PR3s1S^ 由于组件倾斜引起的干涉条纹 x^A7'ad0 >[ eW">:>K PJzc=XPU ]UDd :2yt 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 10p8|9rE}B n;wwMMBM
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