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2}Q)&;u 内容简介 =lG5Kc{B Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 PF-
sb&q 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 @cF
aYI 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 %-:6#bz _dq.hW7 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 ZUMzWK5Th 目录 L+s,,k Preface 1 {E`f(9r: 内容简介 2 s?5(E} 目录 i NPEs0| 1 引言 1 {j
E}mzi 2 光学薄膜基础 2 eW+z@\d9Gz 2.1 一般规则 2 0BIH.ZV# 2.2 正交入射规则 3 cQUmcK/, 2.3 斜入射规则 6 t{K1ht$[: 2.4 精确计算 7 W$P)fPU' 2.5 相干性 8 nK6{_Y> 2.6 参考文献 10 j4Cad 3 Essential Macleod的快速预览 10 -$4PY, 4 Essential Macleod的特点 32 z@biX 4.1 容量和局限性 33 e2%Y8ZJG. 4.2 程序在哪里? 33 NQ%lwE~ 4.3 数据文件 35 O&irgc! 4.4 设计规则 35 jzu1>*ok 4.5 材料数据库和资料库 37 :\48=> 4.5.1材料损失 38 Vo"\nj 4.5.1材料数据库和导入材料 39 \?)<==^ 4.5.2 材料库 41 '8wA+N6Zr7 4.5.3导出材料数据 43 B}YB%P_CWs 4.6 常用单位 43 l>S~)FNwXJ 4.7 插值和外推法 46 >e"CpbZ' 4.8 材料数据的平滑 50 -2mm
5E~N 4.9 更多光学常数模型 54 X% S?o 4.10 文档的一般编辑规则 55 i}+K;,Da:8 4.11 撤销和重做 56 H{`S/>)[ 4.12 设计文档 57 <`a!%_LC
[ 4.10.1 公式 58
grnlJ= 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 _w=si?q 4.10.3 沉积密度 59 $GYcZN& 4.10.4 平行和楔形介质 60 IiIF4 pQ, 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ^6|Q$]}Ok 4.10.4 性能 61 _bn*B$ 4.10.5 保存设计和性能 64 {(AYs*5 4.10.6 默认设计 64 u-At k-2M 4.11 图表 64 Y_)!U`>N? 4.11.1 合并曲线图 67 ,Rk;*MEMJ 4.11.2 自适应绘制 68 Sim\+SL{# 4.11.3 动态绘图 68 x\GCsVy 4.11.4 3D绘图 69 kl_JJX6jPP 4.12 导入和导出 73 Edc< 8- 4.12.1 剪贴板 73 X4lz?Y:* 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 5EIh5Y EU> 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ub6=^`>h 4.13 背景 77 @]t} bF] 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 4WZ:zr N 4.15 生成Rugate 84 JVFn=Mw 4.16 参考文献 91 Qq(/TA0$- 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 6+e@)[l.zc 5.1 Jobs 92 $3|++? 5.2 创建一个新Job(工作) 93 1p<m>s=D=e 5.3 输入材料 94 G@ XKE17 5.4 设计数据文件夹 95 U|={LU 5.5 默认设计 95 34Q l7LQp[ 6 细化和合成 97 &[}bHX/ 6.1 优化介绍 97 I1S*=^Z_U 6.2 细化 (Refinement) 98 0p:FAvvNI 6.3 合成 (Synthesis) 100 6SIk?]u 6.4 目标和评价函数 101 )Y+n4UL3NK 6.4.1 目标输入 102 8TZNvN4u 6.4.2 目标 103 D|@*HX@_Xp 6.4.3 特殊的评价函数 104 c=K
.|g, 6.5 层锁定和连接 104 +ZEj(fd9 6.6 细化技术 104 r1yz ?Y_P 6.6.1 单纯形 105 J1T_wA_ 6.6.1.1 单纯形参数 106 _$ ]3&P 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ;tP-#Xf 6.6.2.1 Optimac参数 108 anjU3j 6.6.3 模拟退火算法 109 d:.S]OI0 6.6.3.1 模拟退火参数 109 j{U?kW{o 6.6.4 共轭梯度 111 a.#`> 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 +hI:5(_ 6.6.5 拟牛顿法 112 w
xKlBx7 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 u+a"
'* 6.6.6 针合成 113 8e:J{EG~ 6.6.6.1 针合成参数 114 GSIRZJl 6.6.7 差分进化 114 9q5jqFQ 6.6.8非局部细化 115 P3UU~w+s 6.6.8.1非局部细化参数 115 1%68Pnqk 6.7 我应该使用哪种技术? 116 :3J,t//c 6.7.1 细化 116 8i/5L=a"` 6.7.2 合成 117 sygxV 6.8 参考文献 117 ?zGx]?1P1< 7 导纳图及其他工具 118 VAX@'iZr 7.1 简介 118 :sAb'6u1EU 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 awkPFA*c' 7.2.1 四分之一波长规则 119 Zvz Zs 7.2.2 导纳图 120 kVR_?ch{ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ce@1#}* 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 oJb${k<3 7.5 斜入射导纳图 141 ]Jz2[F"J 7.6 对称周期 141 t%Sgw%f 7.7 参考文献 142 ;c p*] 8 典型的镀膜实例 143 gb+iy$o- 8.1 单层抗反射薄膜 145 !Hq$7j_ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 g<pr(7jO 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 h|qTMwPr 8.4 W-膜层 148 "159Q 8.5 V-膜层 149
|Hx#Uk# 8.6 V-膜层高折射基底 150 4eH:eCZze 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Yuo:hF\DH 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 )#S;H$@$ 8.9 四层抗反射薄膜 153 >-U'mkIH 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 LtIp,2GP&_ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 K!W7a~
@ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 9U~fc U6 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 !\|_,pSB 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 o;#:% 8.15十五层宽带抗反射膜 159 x*>@knP<- 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 #uTNf78X 8.17 1/4波长堆栈 162 <@:RS$"i 8.18 陷波滤波器 163 >TI/W~M 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 e1cqzhI=nA 8.20 褶皱 165 eXKp um~ 8.21 消偏振分光器1 169 c8z6-6`i0 8.22 消偏振分光器2 171 ^UU@7cSi|G 8.23 消偏振立体分光器 172 WB)pE'5 8.24 消偏振截止滤光片 173 `C pfQP&^ 8.25 立体偏振分束器1 174 `Iwl\x[A 8.26 立方偏振分束器2 177 M%&1j >d 8.27 相位延迟器 178 +4L]Z;k 8.28 红外截止器 179 U{1%ldOJ% 8.29 21层长波带通滤波器 180 7R5m|h`M 8.30 49层长波带通滤波器 181 r2ZSkP. 8.31 55层短波带通滤波器 182 5&)T[Q X` 8.32 47 红外截止器 183 pLYLHS`* 8.33 宽带通滤波器 184 e= { ?d6 8.34 诱导透射滤波器 186 ^^
>j2= 8.35 诱导透射滤波器2 188 1t+uMhy*y 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 /{6&99SJcc 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 1S[4@rZ 8.35 增益平坦滤波器 193 |P_voht 8.38 啁啾反射镜 1 196 >]{{5oOQ> 8.39 啁啾反射镜2 198 \/XU v( 8.40 啁啾反射镜3 199 ":v^Y
9 8.41 带保护层的铝膜层 200 B*Z}=$1j 8.42 增加铝反射率膜 201 ^8.s"4{ 8.43 参考文献 202 pyUzHF0 9 多层膜 204 &/m0N\n?
9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 ^%5;Sc1V 9.2 内部透过率 204 G*s5GG@Z. 9.3 内部透射率数据 205 -%fc)y&$ 9.4 实例 206 g)!d03Qoy 9.5 实例2 210 c1tM(]& 9.6 圆锥和带宽计算 212 d9iVuw0u< 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
- +<ai 10 光学薄膜的颜色 216 8u%rh[g' 10.1 导言 216 ~"J7=u1o 10.2 色彩 216 y3XR:d1cg 10.3 主波长和纯度 220 Cl6P,C 10.4 色相和纯度 221
"tT68 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 .(^%M
2:6 10.6 色差 226 :(A k: 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 r\A|fiL 10.8 颜色渲染指数 234 }!uwWBw` 10.9 色差计算 235 h3e
%(a 10.10 参考文献 236 `\beQ(g 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 ?`=
<*{_o 11.1 短脉冲 238 c( _R
xLJ 11.2 群速度 239 t/lQSUip 11.3 群速度色散 241 V=gu'~ 11.4 啁啾(chirped) 245 g& ou[_A 11.5 光学薄膜—相变 245 !c"EgP+ 11.6 群延迟和延迟色散 246 G>edJPfQ 11.7 色度色散 246 btOx\y} 11.8 色散补偿 249 lT?Vt`==~M 11.9 空间光线偏移 256 z? Iu;X 11.10 参考文献 258 P^aNAa 12 公差与误差 260 g#Z7ReMw 12.1 蒙特卡罗模型 260 vYybQ&E/ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 w1EB>!<;tj 12.2.1 误差工具 267 e%km}m A 12.2.2 灵敏度工具 271 |w"G4J6ha 12.2.2.1 独立灵敏度 271 *5u3d`bW 12.2.2.2 灵敏度分布 275 }#q0K 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 naiQ$uq0 12.3 参考文献 276 ~#jnkD 13 Runsheet 与Simulator 277 fh*7VuAc 13.1 原理介绍 277 |H(i)yu"5' 13.2 截止滤光片设计 277 _'|C-j`u$ 14 光学常数提取 289 x"7PnN|~ 14.1 介绍 289 a51}~V1 14.2 电介质薄膜 289 )EK\3q 14.3 n 和k 的提取工具 295 4d_Az'7`4 14.4 基底的参数提取 302 HXN. ,[ 14.5 金属的参数提取 306 e6>[Z C 14.6 不正确的模型 306 #nQboTB@ 14.7 参考文献 311 2K^xN]]rG 15 反演工程 313 e<{waJ1 15.1 随机性和系统性 313 i# fvF) 15.2 常见的系统性问题 314 TyvUdU 15.3 单层膜 314 \qDY0hIv t 15.4 多层膜 314 [x%8l,O
#l 15.5 含义 319 th{ie2$ 15.6 反演工程实例 319 nf-6[dg 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 )8taMC:H^ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 9e7):ZupO 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ewdcAF5 16.1 光学性质的热致偏移 329 6FX]b4 16.2 应力工具 335 g*-}9~ 16.3 均匀性误差 339 % EYh*g{G 16.3.1 圆锥工具 339 8.&P4u i 16.3.2 波前问题 341 jgqeDl\=+ 16.4 参考文献 343 pJ
x H 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 T-\q3X|y/ 17.1 引言 345 m2l0`l~T8 17.2 操作数 345 <O41M\, 18 如何在Function中编写脚本 351 aI;fNy/K 18.1 简介 351 +f}w+ 18.2 什么是脚本? 351 1]W8A.ZS 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 J[UTn'M8] 18.4 基础 352 S#0C^ 18.4.1 Classes(类别) 352 Bw<$fT` 18.4.2 对象 352 (SCZ.G(> 18.4.3 信息(Messages) 352 4<- E0 18.4.4 属性 352 {qm5H7sL 18.4.5 方法 353 djn< |