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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-10
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 a Sj$62G"  
    ?@#<>7V  
    1. 描述 = ~yh[@R)  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 S=Zjdbd  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 UkUdpZ.[il  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 k"6^gup(U  
    C>HU G  
    2. 系统 .d2s4q\  
    g8C+j6uR0  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    2yNlQP8%  
    3. 透镜系统组件编辑 E5rNC/Ul$$  
    k$zDofdfp  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Uhf -}Jdw  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 rpd3Rp  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 6Z3v]X  
    包括序列光学表面和光学介质。 +um; eL7  
    y ^YrGz.  
    2c}kiqi{  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 7HzKjR=B  
    jN[Z mJz'  
    umi#Se3&  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 IJ!UKa*o%  
    可以选择选取光线的方法: #2}S83 k  
    — 在x-y-网格 niFjsTA.Z  
    — 六边形  tW,<Pe  
    — 自由选取 = zsXa=<  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    EV9m\'=j  
    }MoCUN)I  
    5. 系统的3维视图 |(wx6H:  
    } nQHP4'  
    6A%Y/oU+2  
    6. 其他系统参数 bBZvL  
    系统由单色平面波照明 $T1c{T6n}  
    照明波长266.08nm 1$c*/Tc:E  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ;m\E9ple  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 NoMEe<  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 @wpm;]  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Dj[D|%9a  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。  W?.Y%wc0  
    ;$86.2S>B  
    qoEOM%dAqV  
    #0weN%  
    7UMsKE-  
    7. 光线追迹系统分析器的结果  p.zU9rID  
    ieObo foD  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ~Su>^T(?-  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    J?%Z7&/M>  
    Y*4\K%e(  
    1 }:k w  
    _I2AJn`#  
    %F03cI,  
    D@mDhhK_  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 m(9E{;   
    keX0br7u_  
    ak<?Eu9rV  
    VirtualLab可用于计算点列图。 '?#e$<uS-  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 K~[/n<ks  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 SMnbI .0  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 (!;4Y82#  
    I5  
    9. 焦平面上的结果 x *(pr5k  
    Dtn|$g,  
    4/HyO\?z5  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 7n %QP  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 $+$+;1[  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm G3KiU($V  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 YckexfL  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    tk~7>S  
    GX(p7ZgB2  
    10. 总结 cD7q;|+  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 T"3WB o  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ^m?h .  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 nJrV  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 k4eV*e8  
     
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