关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 aSj$62G"
?@#<>7V 1. 描述 =
~yh[@R) ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 S=Zjdbd ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 UkUdpZ.[il ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 k"6^gup(U
C>H UG 2. 系统 .d2s4q\ g8C+j6uR0 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
2yNlQP8% 3. 透镜系统组件编辑 E5rNC/Ul$$
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Uhf
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■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 rpd3Rp
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 6Z3v]X
■ 包括序列光学表面和光学介质。 +um;
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y ^YrGz. 2c}kiqi{ 4. 光线追迹系统分析器-选项 7HzKjR=B jN[Z mJz' umi#Se3&
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 IJ!UKa*o%
■ 可以选择选取光线的方法: #2}S83
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— 在x-y-网格 niFjsTA.Z
— 六边形 tW,<Pe
— 自由选取 =zsXa=<
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 EV9m\'=j }MoCUN)I 5. 系统的3维视图 |(w x6H: } nQHP4' 6A%Y/oU+2 6. 其他系统参数 bBZvL ■ 系统由单色平面波照明 $T1c{T6n} ■ 照明波长266.08nm 1$c*/Tc:E ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ;m\E9ple — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 NoMEe< — 一个虚拟屏位于焦平面 @wpm;] — 光束尺寸探测器置于焦平面 Dj[D|%9a ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 W?.Y%wc0 ;$86.2S>B qoEOM%dAqV #0weN% 7UMsKE- 7. 光线追迹系统分析器的结果 p.zU9rID ieObo foD 光线经过整个光学系统的三维视图
~Su>^T(?- 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
J?%Z7&/M> Y*4\K%e( 1 }:k w _I2AJn`# %F03cI, D@mDhhK_ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 m(9E{; keX0br7u_ ak<?Eu9rV
■ VirtualLab可用于计算点列图。 '?#e$<uS-
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 K~[/n<ks
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 SMnbI.0
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 (!;4Y82#
I 5 9. 焦平面上的结果 x*(pr5k
Dtn|$g,
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 7n%QP
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 $+$+;1[
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm G3KiU($V
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 YckexfL
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 tk ~7>S GX(p7ZgB2 10. 总结 c D7q;|+ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 T"3WB o ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ^m?h . ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 nJrV ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 k4eV*e8