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    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 微小光学与微透镜阵列 光学设计与光学元件 计算光学带来的成像革命
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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 f+j-M|A  
                                             k>dzeH  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜，聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而，不存在完美的F-Theta系统，因此在任何给定的系统中，偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源，通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差，分析了给定F-Theta透镜的性能。 mYiIwm1cb(  
    2v9T&xo=  
    建模任务 _4h[q4Z  
    E]IPag8C  
    系统构建块-扫描源                                                     v^QUYsar  
    Zfub+A  
    How to Set Up a Scanning Source ]^ "BLbDZ@  
                                                                                   v05B7^1@_  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 R2!_)Rpf  
    *^b<CZd9  
    系统构建块-参数耦合 wUBug  
       zM*PN|/%sH  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion vynchZ+g]  
                                                                                       e#j kp'  
    系统构建块-失真分析仪 ($A0u mW1%  
                                                                               #_}r)q  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 ( [m[<  
     It8m]FN  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算，但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                               !>Ru= $9  
    /6Vn WrN_  
    通用探测器和探测器附加组件                                                         ra*(.<&  
    Kx@;LRY#  
    %~A$cc  
     q"sD>Yh&  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场，并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即，它们可以嵌套);在我们的例子中，我们使用场数据来计算辐射能密度，然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: )RE~=*?d  
    _pS!sY~d  
    Universal Detector w~I;4p~(N  
                                                                                   l9up?opq  
    总结-组件… Q!_@Am"h  
    c!})%{U  
     V)g{ Ew]:  
    系统观感   rAZsVnk?  
     :Z'q1kW@"  
    通过系统:三维可视化，不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外，可以检查场的轨迹，以便将探测器放置在正确的位置。 z'+k]N9Q^  
    &z"sT*3  
     G8E=E<Yg~  
    性能评估-点位偏差 ij/5m-{6)  
    !tL&Ktoj  
                                       -<GSHckD  
    性能评估-光斑直径测量                                                       onOvE Y|R  
    Sd0y=!Pj=  
    lp=8RbQYC  
    37M?m$BL  
    |zaYIVE[  
    此外，该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如，对光斑大小的检查显示，对于更高的输入角度，单个焦点变得越来越椭圆形。 0`L>t  
    [C TR8  
    VirtualLab Fusion技术 _g#v*7o2@  
             qIIl,!&}A  
     
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