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成像系统>包括光栅 &k
/uR;yw *7C t#GC 任务/系统说明 P"J(O<(1-: 1 f ]04TI  9pKN^FX,76 ~n$VCLa 亮点 7 u!i)<pn
TK pka]nJ
 E rK5iTSD .v36xX K( 在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） hBf0kl 严格分析光栅衍射效率 Ll%CeP 考虑入射光的方向分布 \f6SA{vR| Gpws_ jw 说明：光源 IcMfZ {H1 .eA N`-t;  NDW6UFd>1 Cpu L[|51 说明：光束分束器 4=S.U`t7 Y]aVa2!Wb  EELS-qA Xm./XC 说明：检测透镜系统 *p}b_A}D DIH|6R  &v7$*n27 *Ppb; 说明：微型晶片 /s"mqBXCG ]a )o@FI  Bb2;zOGdA A*jU&3# 说明：检测物镜 iB;EV8E ;*^2,_  C?jk#T Tf/jd 3> 说明：探测器 <rZ( B>$ 4}@J]_]Z  kLa9'c 0 P` Hxj> { 结果：3D光线追迹（只有0级） ?AC flU_k m~c z  R57>z`; XKD0n^L[ 结果：3D光线追迹（所有级）
C7#ji" t D#}t) $"  !s WKi)1 w& yK*nBK 结果：光线追迹 F?#^wm5TZ e 4-
 P_S^)Yo \$GM4:R D 结果：场追迹 &)[?D< I E7%u 92
 {;u Oc{~+ G`H4#@] 结果：线性偏振光的场追迹 qxKW% {6o coa+@g,w7#  m)l<2 `CM
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