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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 RB`Emp&T `$vTGkGpY ^1^k< 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) G0Q}
1 Vf9PHHH| 建模任务 {/#^v?, VJmX@zX9 mrX 2w Fa:fBs{ 单次FMM仿真结果 r2M Iw ?^t"tY v]SHude{ >{?~cNO& 参数扫描(1D) ,#:* dl yV[9 ( Fr_esx ;T0F1 参数扫描(2D) &/R`\(hEA {G$I|<MD2T G|MjKe4} {5w'.Z]0v
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