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扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 `mH %!{P [~\PQYm' iU+nqY' L&-hXGx=7 建模任务 ?4CNkk=v WS2osBc 7B3w\ 仿真干涉条纹 =N);v\ Q$! !TAp+b f&4,?E;6% 走进VirtualLab Fusion zciCcrJ %~NH0oFO J
wm T/ )R_E|@" VirtualLab Fusion中的工作流程 nH !3(X* O;HY% •设置输入场 qW_u −基本光源模型[教程视频] S<nq8Ebmw •使用导入的数据自定义表面轮廓 o$.e^XL
•定义元件的位置和方向 hIJ)MZU| − LPD II:位置和方向[教程视频] 7:NmCpgL! •正确设置通道以进行非序列追迹 "tS'b+SJ-S −非序列追迹的通道设置[用例] /cFzotr"9 •使用参数运行检查影响/变化 Lh$dzHq −参数运行文档的使用[用例] XH7xT@ d h^^G^ ]>i~6!@ ~F,
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