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众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 bQ<qdGa 24sMX7Q,i ]>3Y~KH( *D5 xbkH=. 设计任务 WP<L9A ;?h[WIy K7}.# *% ~ 0cG'37[ 光栅光学装置 rxCzPF hA=uoe\ ]uXJjS f a`O'ZY 偏振分析器 U)}]Z@I- GT{4L]C <z Gh}.6v Koa9W>! 优化 w[~G^x& (
eV,f x#{!hL
5G 84ij4ZYe 参数运行 +VwQ=[y] y^2#;0W z?/_b ?Uql30A 关于光栅周期选择的考虑 Om3Ayk} osC?2. Z|$# &/@V$'G= 偏振相关衍射特性 [ATJ!
O 3%vXB=>T! ||+~8z#+, z} fpV T 偏振相关衍射特性 YQ0#j'}/ 5es t )JMqC+J3*t +C~h( 偏振相关衍射特性 6w.E Sm R hWQ:l] 9A|A@E# 4uF.kz-cg 固定周期二维参数优化 :saP
:& W>3S%2d LV}R 9f 二维参数优化——设计#1 @SfQbM##% 7q0_lEh m*^)# s-p)^B 二维参数优化——设计#2 4v[y^P ]545:)Q1 0X)vr~` PV68d; $:8 制造公差分析 5c- P lm% )uqzu%T N'{[BA(eE jY6GWsh:9 变光栅周期三维参数优化 -K{R7
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