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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 ,bXe<L)  
    8k2?}/+  
    Gp1?iX?ml  
    # Nk;4:[  
    亮点 cIUHa  
    5rwu!Y;7*  
    PZ2;v<  
    LVX[uWEM  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) k\wW##=v  
     严格分析光栅衍射效率 t!*?dr  
     考虑入射光的方向分布 ]-PH^H  
    <S\jpB  
    说明:光源 hM@ HA  
    r/4``shg  
    WM Fb4SUR  
    ?*2CpM&l  
    说明:光束分束器 w&X<5'GM  
    BYpG  
    %.vQU @2A  
    0+iu(VbF  
    说明:检测透镜系统 yGI;ye'U  
    qJ;jfh!  
    a<@1 -j<  
    zxJ]" N  
    说明:微型晶片 m/Oh\KlIl  
    }d&_q7L@@6  
    ]"J~:{, d  
    uvMy^_}L  
    说明:检测物镜 zxMX Xm;  
    U(a#@K !H  
    Fa?~0H/DL  
    :S.9eFfa  
    说明:探测器 'r4/e-`pK  
    3) 8QS  
    vBRQp&YwX  
    R,gR;Aarw  
    结果:3D光线追迹(只有0级) x8wD0D  
    0Z~p%C<LW  
    AZ0;3<FfLp  
    1s%#$ 7  
    结果:3D光线追迹(所有级) JX -' mV`  
    6 2'j!"xv  
    RzBF~2 >i  
    &atuK*W>  
    结果:光线追迹 p rYs $j  
    U@g4w!$r  
    Jzj1w}?H  
    JF # # [O  
    结果:场追迹 pczug-nB  
    I2TaT(e\  
    tro7Di2Q  
    , 0imiv  
    结果:线性偏振光的场追迹 o4j[p3$  
    GYJ80k|  
    }B8IBveu  
     
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