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测量系统(MSY.0001 v1.1) #mRFUA ;]&~D
+XH 应用示例简述 c.8((h/
Od!F: < 1. 系统说明 9o`7Kc/g s!hI:$J. 光源 ]/o12pI — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) NlF0\+h 元件 6@?aVM~ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 kByrhK5U 探测器 Y%fVt| — 干涉条纹 fKTDt% 建模/设计 KM/U?`6>: — 光线追迹:初始系统概览 &}nBenYp — 几何场追迹加(GFT+): (aJP: ^ 计算干涉条纹。 rQcRjh+E
H 分析对齐误差的影响。 97(Xu=tX
dSe8vA!) 2. 系统说明 bB:r]*_
s] <Qcex3 参考光路 zNV!@Yr ~_u*\]- 3. 建模/设计结果 "?.'{,Q Z;GIlgK9 \LdmGv@& 4. 总结 &o*s !u 11)/] ?/j 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 $hjP}- oUX h"%|\o+3 1. 仿真 "U%n0r2 以光线追迹对干涉仪的仿真。 >d8x<|D 2. 计算 GJ1;\:cQq 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 RgB6:f, 3. 研究 f0uUbJ5 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 W\@?e32 ?Oy'awf_ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 bBUbw *DF) U1,~bO9 应用示例详细内容 RzA2*]%a 系统参数 4M @oj 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 $!YKZ0)B'0 Em e'Gk 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 jM5_8nS&d 4S,. R 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 r]A"Og_U op hH9D 2. 说明:光源 Y{B9`Z (^sh \Fj5v$J- 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 7 I_1 #O 因此,相干长度大于1m ,CJAzGBS 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 $ A-+E\vQ@ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 k?3S g%`i=s&N% [Q4_WKI0T 9$Ig~W) 3. 说明:光源 wL 4ZW8_ 3gb|x? U'tE^W 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 2Y400 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 yGU .AM 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 CY34X2F 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 &J8Z@^ 4. 说明:光学元件 gRBSt
M&hU
}10\K }$o* 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 &!ED# gs 位相延迟平板材料为N-BK7。
mDE'<c`b4 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 `/z_rqJ0CL 透镜材料为N-BK7。 JkZ50L 其中心厚度与位相平板厚度相等。 9]"S:{KSCn 6SE6AL<b <3d;1o 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 2ck4C/ h 4|`Yz%' >DHp*$y 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 vu=me?m?( 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ~A6 "sb=
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