摘要
>tq,F"2amC buXPeIo^VM 光栅,特别是具有与
波长相当的特征尺寸的光栅,具有
偏振相关的
光学特性。 这使得设计的具有高
衍射效率的光栅难以用于任意偏振。 根据文献[T. Clausnitzer, et al,Proc. SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用
参数优化来设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。
b,U3b})( cdDMV%V 6!,Am^uXM Q/%(&4>'y 设计任务
,=9e]pQ n: ~y] _d$0( :\*<EIk( 2>.2H 光栅特性与参数的严格分析
RsYn6ozb 5ml^3,x 不同光栅周期的衍射效率
P}%0YJ$6 _)7dy2%{q 7-oH >OF^ ZwLD7j*) 考虑光栅周期的选择
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N
\-* Dj<]eG] h SZ0 }/ 偏振相关衍射特性
ZD9UE3- &=sVq^d@qe -}lcMZY T4dYC'z 偏振相关衍射特性
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P&/PCSf 偏振相关衍射特性
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r$i) 41<.e`{ 基于参数优化的光栅设计
e!wS"[, .wrNRU7s 具有固定周期的二维参数优化
g8yWFqE!T ZDZPJp, 3z[yKua\ 二维参数优化 - 设计#1
)$/Gh&1G v hUn3|
um@RaU C7(kV{h$d 二维参数优化 - 设计#2
uf*sI ^;3z9}9 Gd)@PWK "h/{YjUS 制造
公差分析 - 设计#2
zh$[UdY6 R>"E Xq A/W-'%+` "HW~|M7>( 不同光栅周期的
三维参数优化
YF=@nR$_~j ,Cg uY/y ]6{G;f$ "v-\nAu 制造公差分析
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VirtualLab Fusion
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