摘要
"$&F]0 GFid riC 对于许多应用来说（例如背光、
光学连接器和近眼显示），如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用，倾斜
光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中，介绍了使用严格的傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次，优化的光栅展示出超过90％的
衍射效率。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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lI 8"o>-~ 2i)y'+s 设计任务
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JoYzC8/r l? q^j;{Dw 1级
参数优化
m[pz u2R (2(hl-- 'n 
M: 6 cma5 \Mi< ROp5 结果-容差分析
u+9Mc u" (L jY<dQO 
zSO[f -1R~3j1_ 结果-容差分析
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UnPSJ]VW #E1*1E VirtualLab Fusion一瞥
4)ISRR 8yo9$~u ; 
<O WPG, X%dOkHarB VirtualLab Fusion中的工作流程
+*dJddz p,+~dn;= 构建光栅结构
+ |,CIl+ −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
r0sd_@Oj −倾斜光栅高级设定[用例]
t^'1Ebg •光栅衍射效率分析
dw-r}Qioe −光栅阶序分析器[用例]
^o 5q- ;a •使用参数优化进行光栅参数优化
!>tXib]: •使用参数运行的容差分析
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c(jA"K[|b +G~b-} VirtualLab Fusion技术
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