[技术]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

摘要 v6iV#yz3(  
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高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 yzXwxi1#  
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建模任务 ^2Op?J  
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图片:1-1911251A00R22.png

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概述 I_N"mnn@Nr  
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•案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 :#b[gWl0Ru  
•接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 u\>Ed
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光线追迹仿真 e8P |eK  
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•首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 00<iv"8  
•单击go！ &W}ooGg  
•获得了3D光线追迹结果。 %!x\|@C  
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光线追迹仿真 6`F_js.a  
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•然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 XKMJsEPsW  
•单击go！ 5Ss=z  
•结果得到点图（二维光线追迹结果）。 Qp%kX@Z'  
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场追迹仿真 ~9 K4]5K-  
F5&4x"c  
•切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 nqy\xK#.^  
•单击go！ dht1I`i"B  
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图片:1-1911251A335531.png

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场追迹仿真（相机探测器） oZP:}= F  
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•上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 dIMs{!  
•下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 O:#t> ;  
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图片:1-1911251A41O04.png

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ld`oIEj!P_  
场追迹仿真（电磁场探测器） 42 8kC,  
•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 LWf+H 4iZ}  
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图片:1-1911251A519A0.png

naM4X@jl  
kLADd"C  
场追迹仿真（电磁场探测器） L 'H1\' o  
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•使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 T?_$  
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