[技术]白光迈克尔逊干涉仪 [复制链接]

1.摘要 I/aAx.q  
CnH R&`  
白光干涉仪是一种非接触测量技术，用于如表面轮廓或微小位移的高精度测量。利用一个迈克尔逊干涉仪系统和一个氙灯光源在VirtualLab Fusion中仿真了一个白光干涉仪。建模中考虑光源中有限相干长度等光谱特性，结果表明只有当两臂的路径长度基本相同时才会出现干涉图样。 "{_"NjH  
A 5 X+Z  

图片:1-191204120226228.png

DBUwf1=qj  
k%g xY% 0  
2. 建模任务 AG7}$O.  
{nefS\#{  

图片:1-19120412030c28.png

%SGO"*_  
VK;x6*Y  
3. 干涉条纹的变化 aA`q!s.%A  
s%oAsQ_y  

图片:1-191204120352336.png

1Q SIZoK7  
yV/ J(  
4. 走进VirtualLab Fusion noA\5&hqW  
I_G>W3  

图片:1-1912041204141I.png

LG#w/).^  
]$*{<
  
5. VirtualLab Fusion 中的工作流程
e@=[+iJc  
//lZmyP?  

• 输入场设置

• 基本光源模型[视频教程]

• 定义元件的位置和方向

• 光路图II：位置和方向[视频教程]

• 正确设置非序列追迹通道

• 非序列追迹的通道设置[使用案例]

• 使用“参数运行”检查影响/变化

• “参数运行文件”的使用[使用案例]

图片:1-191204120454308.png

~8t}*oV   
1bg@[YN!;  
6. VirtualLab Fusion 技术 i\;&CzC:  
`^L<db^A  

图片:1-19120412051Q53.png