[技术]全场光学相干扫描干涉仪 [复制链接]

摘要 >i_2OV  
-]L6=  
扫描干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光光源的低相干性，仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此，它可以实现精确的显微镜测量。在本案例中，氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。 E8!e:l =Q  
;"KJ7p  

图片:1-191209152110491.png

W~6
EEyD%  
M*y)6H k~  
建模任务 kv]~'Srk  
bhID#&  
+:8fC$vVfC  
仿真干涉条纹 |pm7_[  
gGvz(R:
y  
vmi+_]  
走进VirtualLab Fusion H]P. x!I  
pSoiH<3
3  

图片:1-191209152K5539.png

S\LkL]qx  
u&1q [0y  
VirtualLab Fusion中的工作流程 4^:\0UF  
 0bz'&  
•设置输入场 3%l*N&gsg:  
−基本光源模型[教程视频] s&A} h  
•使用导入的数据自定义表面轮廓 yaD~1"GA'O  
•定义元件的位置和方向 ,
kF1
T,  
− LPD II：位置和方向[教程视频] N<|@ymi  
•正确设置通道以进行非序列追迹 5"^en# ?9  
−非序列追迹的通道设置[用例] f) znTJL  
•使用参数运行检查影响/变化 S-P/+K6  
−参数运行文档的使用[用例] U(a#@K!H  
|P[w==AAf  

图片:1-191209152Tb56.png

;
P;-}u  
FO=4:   
VirtualLab Fusion技术 LyZ.l*h%=m  
S-Wzour,