摘要
ABIQi[A xRrKrs &eE B]nu \! [QZ8M@Gty# 由于制造过程中潜在的不准确性,对于一个好的
光栅设计来说,面对光栅
参数的微小变化,提供稳健的结果是至关重要的。
VirtualLab Fusion为
光学工程师提供了各种工具,可以将这种行为直接纳入
优化过程,例如参数变化分析仪。该工具结合了同一
系统的多次迭代,在优化过程中实现了评价
函数的表示和自动计算,如平均效率。在这个用例中,我们通过稍微改变填充因子来优化倾斜光栅来演示这个特性。
ZUd*[\F~! IW>\\&pJ 仿真任务
uS|f|)U& }C'h<%[P RD_l cx_$`H 连接建模技术:倾斜光栅
Y$4dqn dfR?O#JPU .4%6_`E Aq*,cOF+ 可用的微
结构建模技术:
:c3'U_H^ (GJX[$@ 8(@Y@`/ 1,Uf-i 光栅阶数分析仪
yyv<MSU8 1\LK[tvh 1
F+$\fLr d-ML[^G 参数变化分析仪
$.Qu55=z< )uK Tf=; Pm=i(TBS/ OlcWptM$ 参数优化
FNHJHuTe nK>D& S_! ( jtkY_ '(fCi 优化结果-平均效率
Uv|^k8( zz[[9Am! _n12Wx{ rrc>O*>{i 优化结果-对比度
Y}hz UKJ 'l41];_