摘要
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傍轴衍射光束分束器的直接设计仍然是一个挑战。由于衍射
角度相当大，元件的特征尺寸与光的
波长相近。因此，通常使用的傍轴建模方法变得不准确，需要严格的技术。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法（IFTA）和薄元件近似（TEA）被用于衍射
光学元件（DOE）的初步设计，并且之后使用傅里叶模式方法（FMM）也称为严格耦合波分析（RCWA）进行严格的性能评估，包括在高度变化的情况下对优点函数变化的研究。
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4eb\j 任务
'1=t{Rw • 使用傍轴近似（TEA）进行衍射1:7×7光束分束器的初步设计，用于
结构设计部分。
HW{osav9 • 使用严格分析（FMM/RCWA）对性能进行分析和进一步
优化，以提高均匀性并评估零阶的影响。
~xu<xy@E } }Eko7'^ G;FY2;adK 模拟与设置：工具简介与整体流程概览
W z3y+I/& 连接建模技术：衍射光束分束器
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DVRE ;+Jt 通过配置助手和IFTA进行相位设计
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\1&3r|R 将传输函数转化为结构
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%3 衍射光束分束器表面
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5Kr "Q#/J )N v$w!hYsQ 衍射光束求解器 - TEA & FMM
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qn6Y(@<[ .#6Dad=S* 光栅级数 & 可编程光栅分析器
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V Zk)]=<H ,+KZn}> 设计与评估结果：
sYiegX`1 c • 相位函数设计
$ [6:KV • 结构设计
,g#=pdX; • TEA 评估
g9H~\w • FMM 评估
LX G ,IG • 高度缩放检查（用于优化/容限）
O$E3ry +? Lf&p2p ?~c 仅相位传输设计
Y{B|*[xM >o>r@; E# `=xg 结构设计
KRf$VbuL KTD# a1W D%N^iJC,9 使用TEA进行性能评估
D:e9609 {j+w|;dZF )d bi 使用FMM进行性能评估
%'nM!7w@I 9; H R P}KN*Hn. 进一步的分析（优化后，容差分析）
Ig t:M[
/ x1W<r)A )r 
[h+MA>%! 进一步优化 - 调整设计#1的零阶
+N: K V}K n$g g$< A,{X<mLFb 进一步优化 - 调整设计#2的零阶
3 k py3z[% .$y}}/{j?[ cu5Y vp 进一步优化 - 调整设计#3的零阶
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