摘要
I
_nQTWcm B#K gU&Loo 对于许多应用来说(例如背光、
光学连接器和近眼显示),如何将光高效地耦合到波导
结构中是一个重要的问题。对于这些应用,
倾斜光栅因为能够高效地耦合单色光而被熟知。在此示例中,介绍了使用严格的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于给定的方向级次,优化的光栅展示出超过90%的
衍射效率。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
2)}n"ibbT c&['T+X 0'^M}&zCi 3Y#Q'r? 设计任务
9~SPoR/_0 sh/,"b2!P eG=d)`.JaV .N(R~_ 1级
参数优化
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E` ($di]lbsT +a,SP
,@*5x'auK 结果-容差分析
(zhZ}C,VF 7HkO:/ Z{8%Cln NdK`-RT 结果-容差分析
$^x=i;>aK. `M@ESA(e
f<o|5r rZK h}E VirtualLab Fusion一瞥
1+%UZK= K Q2CGC+ " ityx? kZ9Gl!g VirtualLab Fusion中的工作流程
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c snbXAx1L 构建光栅结构
$tlBI:ay1 −使用特殊
材料的光栅结构设定[用例]
:ez76oGyc −倾斜光栅高级设定[用例]
q<}IO •光栅衍射效率分析
:zW? O#aL- −光栅阶序分析器[用例]
Agd"m4! •使用参数优化进行光栅参数优化
b9g2mWL\T •使用参数运行的
容差分析
qlhc"}5x } L*0YOE%=]
3M#x)cW `zoHgn7B9q VirtualLab Fusion技术
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