摘要
jEc_!Q 51#*8u+L 扫描
干涉仪是用于执行表面高度测量的技术。 通过利用白光
光源的低相干性,仅当光程长度差在相干长度内时才会出现干涉图样。 因此,它可以实现精确的
显微镜测量。在本案例中,氙气灯和迈克尔逊干涉仪被构建并用于测量表面平滑变化的样品。
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BM(
FaL\6w #@XBHJD\# 建模任务
z5+Pi:1w L$ZjMJ b/SBQ"B% 仿真干涉条纹
zTz}H*U 0Y.z 3<0b_b 走进VirtualLab Fusion
(I[_}l a:kAo0@":j 6EqA Y`y wj)LOA0 VirtualLab Fusion中的工作流程
|LHJRP-Z U( YAI%O •设置输入场
P"YdB|I −
基本光源模型[教程视频]
Dd3f@b[WX •使用导入的数据自定义表面轮廓
=~D? K9o •定义元件的位置和方向
vgfC{]v<W] −
LPD II:位置和方向[教程视频]
qt"D!S_ •正确设置通道以进行非
序列追迹
=7Ln&tZ −
非序列追迹的通道设置[用例]
("$/sT •使用
参数运行检查影响/变化
peQwH −
参数运行文档的使用[用例]
L\:|95Yq /<LZt<K !8{VLg 5{c;I<0 VirtualLab Fusion技术
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