[技术]微透镜阵列CMOS传感器分析 [复制链接]

摘要 TI<?h(*R_  
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FJ/c(K  
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近几十年来，CMOS传感器的像素尺寸已经从~10µm缩小到~2µm，甚至更小。通过减小像素尺寸，可以获得更高的空间分辨率。同时，这也给每个像素上微透镜的功能带来了问题。在本例中，我们研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS传感器的性能。采用严格的FMM/RCWA进行仿真，以验证微透镜的有效性。 >, 9R :X(  
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建模任务 Qvx[F:#Tk  
-5 Q gJ  

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f i_'Ny>#  
t++ a  
模拟&设置：单平台互操作性 <Wwcd8d  
建模技术的单平台互操作性 
Qms,kX  
在模拟中达到正确的精度-速度平衡需要对系统的每个部分使用不同的建模技术，这样可以在不过度计算的情况下考虑相关影响。 (v)/h>vS  
)@Vz,f\}  

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J-k/#A4o  
rP7[{'%r  
 平面波光源 Od,P,t9  
 微透镜阵列 vT&) 5nN  
 彩色滤光片(吸收介质) %aB RL6  
 通过基底传播 9*<=K  
 探测 +W7#G `>  
8k0f&Cak=  
连接建模技术：微透镜 #$^vP/"$  
&Rp/y%9  

图片:1-23102621225O05.png

dc+U#]tS  
0DB8[#i%:  
连接建模技术：彩色滤光片 \,ko'48@  
Bs!F |x(  

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6SqS\ 8  
TpH-_ft  
连接建模技术：可编程介质 TSEv^u)3  
8{f~tPY  

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9 \lSN5W  
|nMg.t`8  
连接建模技术：自由空间传播 sA|!b.q  
*De}3-e1b  

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`:Bm@eN  
2gM/".|{  
连接建模技术：堆栈 Sp]u5\  
在VirtualLab Fusion中，堆栈是配置具有小特征尺寸和距离结构的一种便捷的方法。在这些容器中，可以包含多种类型的表面和介质来表示结构的各个方面。请注意，整个堆栈使用了相同的建模技术。 r1A<XP|1?I  
tZL {;@  

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 微透镜阵列 )7jJ3G*  
 彩色滤光片(吸收介质) 6>Z)w}x^  
 通过基底传播 4/?@%  
 探测 ;xQNa}"V  
WZQ EBXs  
元件内场分析器：FMM :AYhBhitC  
5kx-s6`!  

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3Jh!YzI8  
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模拟结果 [q!/YL3%  
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像素尺寸为2.0µm的微透镜(x-z平面模拟) 6BdK)s  
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M)  

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oWb\T 2!m  
xiy=D5N.=  
像素尺寸为1.8µm的微透镜(x-z平面模拟) )jPIBzMys  
]k#iA9I  

图片:1-2310262131263Q.png

R^?9V=Y<T  
Ju@8_ ?8=  
像素尺寸为1.6µm的微透镜(x-z平面模拟) BA6(Ow
b  

|r+w(TG  

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3D仿真与结果比较 bamQ]>0|>!  
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3D仿真与结果比较 <]f{X<ef  
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