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摘要 Av n-Ug #%$@[4"V ^Ar1V!PFk f$}g'r zl 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 T,/<'cl" U74L:&yLI 建模任务 Sa)L=5Nr e 5(|9*t =7kn1G.( &uaSp,L 由于组件倾斜引起的干涉条纹 leSBR,C qD"~5vtLqQ =kq<J-:#R ]3]B$ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 &l`_D?{<# )9/iH(
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