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*U\`HUW 内容简介 c\szy&W Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 M0vX9;J 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 4}0YLwgJ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 n#?y;Y\ >*^SQ{9 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 %bdBg 目录 SuV3$-);z Preface 1 ?caHS2%?ae 内容简介 2 #+h#b%8 目录 i .k
up[d( 1 引言 1 \SgBI/L^ 2 光学薄膜基础 2 j,i)ecZ> 2.1 一般规则 2 BG4TUt 2.2 正交入射规则 3 d[H`Fe6h 2.3 斜入射规则 6 :UKc:JVNM 2.4 精确计算 7 }U}ppq0Eo 2.5 相干性 8 dgByl-8Q 2.6 参考文献 10 z-]ND 3 Essential Macleod的快速预览 10 bVZAf 4 Essential Macleod的特点 32 , a2=OV 4.1 容量和局限性 33 va#].4_ 4.2 程序在哪里? 33 4]
u\5K- 4.3 数据文件 35 AS4oz:B 4.4 设计规则 35 E3CwA8)k 4.5 材料数据库和资料库 37 yS?5&oMl 4.5.1材料损失 38 5lwMc0{/3 4.5.1材料数据库和导入材料 39 r0\C2g_X 4.5.2 材料库 41 "-IF_Hid 4.5.3导出材料数据 43 elD|b=(-
4.6 常用单位 43 ;D(6Gy9~ 4.7 插值和外推法 46 v[DxWs8q 4.8 材料数据的平滑 50 QPFv]^s( 4.9 更多光学常数模型 54 4^ 0CHy 4.10 文档的一般编辑规则 55 bXM&VW?OP 4.11 撤销和重做 56 urL@SeV+$ 4.12 设计文档 57 G8Ow;:Ro
4.10.1 公式 58 ^7:UC\_ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 YQ1rS X3 4.10.3 沉积密度 59 #2*R0_b 4.10.4 平行和楔形介质 60 +t]Ge
>S 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 cwHbm% 4.10.4 性能 61 x97L>>| 4.10.5 保存设计和性能 64 'OU3-K 4.10.6 默认设计 64 zCS }i_ p 4.11 图表 64 G}dq
ft5" 4.11.1 合并曲线图 67 j97K\]tQ 4.11.2 自适应绘制 68 .\
vrBf 4.11.3 动态绘图 68 Pvm pWa 4.11.4 3D绘图 69 2c*}1
_ 4.12 导入和导出 73 QZL,zI]LL 4.12.1 剪贴板 73 g`6I, 6G 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 O/&Qzt 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 }h sR} 4.13 背景 77 `0W+(9} 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 9T2y2d!X 4.15 生成Rugate 84 x_(K%0+Ca 4.16 参考文献 91 zTn.#-7y 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 \~C/ 5.1 Jobs 92 G2=dq 5.2 创建一个新Job(工作) 93 {s2eOL5I|% 5.3 输入材料 94 90=gP 5.4 设计数据文件夹 95 Gy'/)}}Z 5.5 默认设计 95 1l.HQ IS 6 细化和合成 97 ++|e
z{ 6.1 优化介绍 97 83)m# 6.2 细化 (Refinement) 98 3)(uC+?[ 6.3 合成 (Synthesis) 100 JFkx=![ 6.4 目标和评价函数 101 Z|3[Y@c\ 6.4.1 目标输入 102 X9&>.?r 6.4.2 目标 103 @k-GyV-v 6.4.3 特殊的评价函数 104 OskQ[
e0 6.5 层锁定和连接 104 zgxMDLH 6.6 细化技术 104 +N|t:8qaf 6.6.1 单纯形 105 @G|z_ 6.6.1.1 单纯形参数 106 pT:6A[& 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 %^u
e 6.6.2.1 Optimac参数 108 "2"2qZ*h} 6.6.3 模拟退火算法 109 @~i :8 6.6.3.1 模拟退火参数 109 :{-/b 6.6.4 共轭梯度 111 !]8QOn7 = 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ,jy9\n*<t9 6.6.5 拟牛顿法 112 }AS3]Lub@ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 V#~.n;d 6.6.6 针合成 113 ?nM]eUAP 6.6.6.1 针合成参数 114 6ziBGU#.- 6.6.7 差分进化 114 <CS,v)4,nH 6.6.8非局部细化 115 :;&3"- 6.6.8.1非局部细化参数 115 U@}P]'`'f 6.7 我应该使用哪种技术? 116 t+Qx-sW 6.7.1 细化 116 }%3i8e 6.7.2 合成 117 ztC,[ 6.8 参考文献 117 Z3 dI
B`@ 7 导纳图及其他工具 118 Et&PzDvU 7.1 简介 118 NU3s^ 8\( 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 iu`B8yI 7.2.1 四分之一波长规则 119 CI|#,^ 7.2.2 导纳图 120 w!Ii 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 85:mh\@-G 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ?Elt;wL( 7.5 斜入射导纳图 141 .6iJ:A6T 7.6 对称周期 141 `I(5Aj" 7.7 参考文献 142 E/C3t2@- 8 典型的镀膜实例 143 j__l'?s 8.1 单层抗反射薄膜 145 <07~EP 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 \IOF 9)F 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 X$SXDb~G 8.4 W-膜层 148 "l(<<Ha/ 8.5 V-膜层 149 wf~n>e^e 8.6 V-膜层高折射基底 150 ca:Vdrw` 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 f3mQd}<L 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 +"VXw2R_e 8.9 四层抗反射薄膜 153 8@KGc
)k 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 D!V*H?;U 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 LUA<N: 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 y6>fK@K~ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 r3~YGY 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 [XD3}'Aa 8.15十五层宽带抗反射膜 159 M{X; H'2 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ;Hu`BFXyD 8.17 1/4波长堆栈 162 Rab7Y,AA 8.18 陷波滤波器 163 "]yfx@)_ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 |bk$VT4\ 8.20 褶皱 165 stq%Eg? 8.21 消偏振分光器1 169 hhJs$c( 8.22 消偏振分光器2 171 W'Y#(N[ktP 8.23 消偏振立体分光器 172 zCj#Nfm 8.24 消偏振截止滤光片 173 j"vL$h 8.25 立体偏振分束器1 174 gzp]hh@4 8.26 立方偏振分束器2 177 VW**N}1#C 8.27 相位延迟器 178 >NtJ)N* 8.28 红外截止器 179 [:l=>yJ{( 8.29 21层长波带通滤波器 180 )fbYP@9>a 8.30 49层长波带通滤波器 181 ^7Z.~A y 8.31 55层短波带通滤波器 182 ]mx1djNA 8.32 47 红外截止器 183 %WFZ&>en& 8.33 宽带通滤波器 184 +QEiY~i 8.34 诱导透射滤波器 186 P A$jR
fQ 8.35 诱导透射滤波器2 188 F?4&qbdD 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 ^dKtUH/78G 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 W<Asr@ 8.35 增益平坦滤波器 193 wU&vkb)k 8.38 啁啾反射镜 1 196 *YP;HL 8.39 啁啾反射镜2 198 @E?o~jO(e 8.40 啁啾反射镜3 199 3:3>k8 8.41 带保护层的铝膜层 200 sE\Cv2Gx 8.42 增加铝反射率膜 201 :Mq{ES% 8.43 参考文献 202 #M[%JTTn 9 多层膜 204 le~p2l#e 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 $kY ]HI 9.2 内部透过率 204 F7JF1HfCP 9.3 内部透射率数据 205 A7zL\U4 9.4 实例 206 GNM+sdy+ 9.5 实例2 210 =L,7~9 9.6 圆锥和带宽计算 212 P u,JR 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 g<YN# 10 光学薄膜的颜色 216 4X$|jGQ\ 10.1 导言 216 \mNN ) K@ 10.2 色彩 216 1"RC! 10.3 主波长和纯度 220 n?8xRaEf 10.4 色相和纯度 221 vFi+ExBU 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 X 3(*bj>P 10.6 色差 226 azl!#% 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 tIo
b 10.8 颜色渲染指数 234 X=%e'P*X 10.9 色差计算 235 mh,a}bX{ 10.10 参考文献 236 x\K,@ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 [(Ihu e 11.1 短脉冲 238 f_| =EQ 11.2 群速度 239 4.q^r]m* 11.3 群速度色散 241 S.*LsrSV 11.4 啁啾(chirped) 245 '_FxxLAO 11.5 光学薄膜—相变 245 b}Xh|0`b+ 11.6 群延迟和延迟色散 246 Tvd: P^C 11.7 色度色散 246 GyQvodqD 11.8 色散补偿 249 *JiI>[ 11.9 空间光线偏移 256 2X 0<-Y#' 11.10 参考文献 258 r)[Xzn 12 公差与误差 260 Er<!8;{?
12.1 蒙特卡罗模型 260 !iU$-/,1 e 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 X1^Q1?0 12.2.1 误差工具 267 5a2+6N 12.2.2 灵敏度工具 271 8T3Nz8Q7 12.2.2.1 独立灵敏度 271 }hS$F 12.2.2.2 灵敏度分布 275 *)s^+F 0 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 .FA99|: 12.3 参考文献 276 \n^;r|J7k 13 Runsheet 与Simulator 277 4,?WNPqo 13.1 原理介绍 277 -mG ,_}F 13.2 截止滤光片设计 277 P5&8^YV`N 14 光学常数提取 289 PyM59v 14.1 介绍 289 Y
{|is2M9' 14.2 电介质薄膜 289 n {..Q,z 14.3 n 和k 的提取工具 295 [rReBgV 14.4 基底的参数提取 302 ?$ M:4mX 14.5 金属的参数提取 306 ?vmoRX 14.6 不正确的模型 306 =!IoL7x 14.7 参考文献 311 (9v%66y 15 反演工程 313 Xx ou1l! 15.1 随机性和系统性 313 `pfRY! 15.2 常见的系统性问题 314 }gKJ~9Jg 15.3 单层膜 314 Dfy=$:Q 15.4 多层膜 314 W;|%)D)y 15.5 含义 319 5.QY{+k 15.6 反演工程实例 319 nRs:^Q~o 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 E_Fm5zb?X 15.6.2 反演工程提取折射率 327 06[HE7 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 q$'[&& |