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    [技术]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-06-08
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 / w M  
    0j(jJAE.  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 jJ!-hg4?]  
    OZD!#YI  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 PuCDsojclh  
    _}OJPahw  
    所需工具箱子:光栅工具箱 c1kxKxE  
    KC:4  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 \bm6/fhA:  
    Q)`gPX3F  
    建模任务 2BDan^:-Av  
    `QdQ?9x{F  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 <m,yFk  
    }b+QYSt  
    K3:|Tc(  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 pXh~#o6 V  
    ]<T8ZA_Y;  
    fu<2t$Cn>  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ?[VpN2*  
    V.ji _vX  
    W Gw!Y1wq  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    kt{C7qpD  
    qzA]2'~Q  
    rEyz|k:  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 PKR $I  
    1N9< d,  
    ]1d,O^S  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 LkGf|yd_  
    Tz[?gF.Do  
    q^1aPz  
    X线偏振光模拟结果:
    <*"pra{3  
    ml.;wB|  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 'B (eMnLg  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 o}MzqKfu  
    dA1 C)gLi  
    %gu$_S  
    Y线偏光模拟结果 <s/<b*T ^  
    ^'&iYV  
    'Z.OF5|eGT  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 N pXgyD  
    结论: b>QM~mq3^I  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。
    dGsS<@G  
     
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    离线二牛26
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    只看该作者 1楼 发表于: 2023-07-04
    入射角没有要求吗?y方向的偏振对所有的镀膜的衍射效率都有提高吗?