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C?#if;c 内容简介 },2-\-1 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 jj0@ez{3 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 O_nk8 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 b,Ed}Ir 3P6pQm'.f 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 u6'vzLmM 目录 Ms<^_\iPN Preface 1 9bPQD{Qb 内容简介 2 (ivV [ 目录 i s{NEP/QQJ 1 引言 1 zid?yuP 2 光学薄膜基础 2 *#+d j" 2.1 一般规则 2 _{8f^@I"+ 2.2 正交入射规则 3 JS642T 2.3 斜入射规则 6
yUq,9.6Ig 2.4 精确计算 7 GIWgfE? 2.5 相干性 8 Q
nDy mVF 2.6 参考文献 10 I}puN! 3 Essential Macleod的快速预览 10 N:)`+} 4 Essential Macleod的特点 32 I.fV_
H^ 4.1 容量和局限性 33 K8pfk*NZ_@ 4.2 程序在哪里? 33 Bg-C:Ok2' 4.3 数据文件 35 -DlKFN 4.4 设计规则 35 k)'hNk"x 4.5 材料数据库和资料库 37 M/5/Tp 4.5.1材料损失 38
doBfpQ2 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ?|%^'(U} 4.5.2 材料库 41 h.%VWsAO7 4.5.3导出材料数据 43 #~Lh#@h 4.6 常用单位 43 Lbq"( b 4.7 插值和外推法 46 &"._%S58V 4.8 材料数据的平滑 50 Gs7mO 4.9 更多光学常数模型 54 ?Gp~i] 4.10 文档的一般编辑规则 55 `-D6:- ,w 4.11 撤销和重做 56 vYL{5,t {1 4.12 设计文档 57 w^ui%9
&6H 4.10.1 公式 58 C:hfI;*7 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 @@*-> 4.10.3 沉积密度 59 %+w>`k3(N 4.10.4 平行和楔形介质 60 DGC-`z 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 V8NJ0fF 4.10.4 性能 61 n8w|8[uV^ 4.10.5 保存设计和性能 64 GuV-[ 4.10.6 默认设计 64 1#^[{XlAx 4.11 图表 64 }kT;UdIu; 4.11.1 合并曲线图 67 w(J-[t118 4.11.2 自适应绘制 68 en=Z[ZIPO 4.11.3 动态绘图 68 ,4NvD2Y 4.11.4 3D绘图 69 90k|W> 4.12 导入和导出 73 }1`Rq?@J 4.12.1 剪贴板 73 394u']M 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 L(PJ9wjkD 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Q[i;IbY 4.13 背景 77 ynw^nmM 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ]RPv@z:V 4.15 生成Rugate 84 J,;;`sf 4.16 参考文献 91 Fz?ON1\ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 |}es+<P 5.1 Jobs 92 K^J;iu 4 5.2 创建一个新Job(工作) 93 N ]}Re$5 5.3 输入材料 94 )P[B! 5.4 设计数据文件夹 95 ]g IXG` 5.5 默认设计 95 s$C;31k 6 细化和合成 97 S"|D!}@- 6.1 优化介绍 97 bC$n+G>6k 6.2 细化 (Refinement) 98 (8GJLs 8 6.3 合成 (Synthesis) 100 c500:OSB 6.4 目标和评价函数 101 w6Dysg: 6.4.1 目标输入 102 h"l{cDk 6.4.2 目标 103 izY,t! 6.4.3 特殊的评价函数 104 ).9-=P HlX 6.5 层锁定和连接 104 \Wt&z, 6.6 细化技术 104 ;1NZY.pyc 6.6.1 单纯形 105 Xvi{A]V 6.6.1.1 单纯形参数 106 ]}ff*W 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 Uk S86`. 6.6.2.1 Optimac参数 108 %a5Sc|&- 6.6.3 模拟退火算法 109 IB}.J,= 6.6.3.1 模拟退火参数 109 PaMi5Pq 6.6.4 共轭梯度 111 T(a*d7 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 4J!1$ 6.6.5 拟牛顿法 112 xO/44D 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 A7VF
>{L./ 6.6.6 针合成 113 IhM-a
Y
y5 6.6.6.1 针合成参数 114 MG8-1M 6.6.7 差分进化 114 eP&K]# 6.6.8非局部细化 115 bp_3ETK]P 6.6.8.1非局部细化参数 115 }=?r`J+Ev; 6.7 我应该使用哪种技术? 116 5c{=/}Y 6.7.1 细化 116 mrFMdpaHl% 6.7.2 合成 117 \Vm{5[ :SA 6.8 参考文献 117 m;KMr6sO 7 导纳图及其他工具 118 ;NRm , 7.1 简介 118 {4}Sl^kn* 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 L
nw+o} 7.2.1 四分之一波长规则 119 '!yyg# 7.2.2 导纳图 120 T1n GBl\( 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 :eHh } 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 8uyVx9C0 7.5 斜入射导纳图 141 "9LPq 7.6 对称周期 141 "
8;D^ 7.7 参考文献 142 qbqJ1^!6R 8 典型的镀膜实例 143 YyK9UZjI 8.1 单层抗反射薄膜 145 B^h]6Z/O 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Y)BKRS~ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 u>k;PUH4 8.4 W-膜层 148 \Q^\z
8.5 V-膜层 149 5Tn4iyg;B 8.6 V-膜层高折射基底 150 5:iril 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 3AWB Y.
8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 *eUL1m8Y 8.9 四层抗反射薄膜 153 )byQ=-<1 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 _'2r=a#` 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 "q#(}1Zd 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 _AVCh)Zb 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 C$ZY=UXz!T 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 BOt\"N 8.15十五层宽带抗反射膜 159 `q$DNOrS 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 AuO%F
YKY 8.17 1/4波长堆栈 162 xU@Z<d,k 8.18 陷波滤波器 163 }pTw$B 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 27u$VHwb 8.20 褶皱 165 tG%R_$* 8.21 消偏振分光器1 169 *D4H; P# 8.22 消偏振分光器2 171 .P=!M 8.23 消偏振立体分光器 172 .~b6wi&n 8.24 消偏振截止滤光片 173 C$,S#n@ 8.25 立体偏振分束器1 174 2GZUMXK 8.26 立方偏振分束器2 177 Aqp3amW! 8.27 相位延迟器 178 u6(7#n02 8.28 红外截止器 179 KVQZ 8.29 21层长波带通滤波器 180 BOh&Db* 8.30 49层长波带通滤波器 181 fC~WuG3 8.31 55层短波带通滤波器 182 w`!Yr:dU 8.32 47 红外截止器 183 f3v/Y5) 8.33 宽带通滤波器 184 >vP^l
{SD 8.34 诱导透射滤波器 186 N3x}YHFF 8.35 诱导透射滤波器2 188 K.X% Q,XD 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 'JkK0a2D 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 d%]7: 8.35 增益平坦滤波器 193 R^PQ`$W 'R 8.38 啁啾反射镜 1 196 ~_S`zzcZy4 8.39 啁啾反射镜2 198 W@UHqHr:\ 8.40 啁啾反射镜3 199 ?.4.Ubc\ 8.41 带保护层的铝膜层 200 &TK% igL 8.42 增加铝反射率膜 201 j$8~M 8.43 参考文献 202 5R o5Cg~ 9 多层膜 204 q07rWPM
"e 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 t%FS 5 9.2 内部透过率 204 8nZPY)o 9.3 内部透射率数据 205 Crww\#E; 9.4 实例 206 }bB_[+YV`{ 9.5 实例2 210 4Pz9&^K 9.6 圆锥和带宽计算 212 r)7A# 3wId 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 >!a*wf~] 10 光学薄膜的颜色 216 N0.-#Qa 10.1 导言 216 u$a%{46 10.2 色彩 216 Jwa2Y0 10.3 主波长和纯度 220 >6rPDzW`Dx 10.4 色相和纯度 221 l@Ml8+ 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ;dPLi4=o 10.6 色差 226 Kt`0vwkjvI 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 Uel*:c 10.8 颜色渲染指数 234 >+$1 p_ 10.9 色差计算 235 C w$y 10.10 参考文献 236 kB :")$ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 -><?q t 11.1 短脉冲 238 xvrCm`3n@ 11.2 群速度 239 $ cK9E:v 11.3 群速度色散 241 o9Agx{'oV 11.4 啁啾(chirped) 245 b,{?+8 11.5 光学薄膜—相变 245 =v8#@$ 11.6 群延迟和延迟色散 246 'X[3y^q 11.7 色度色散 246 ^M,Q<HL 11.8 色散补偿 249 /5wvXk|@ 11.9 空间光线偏移 256 UQhfR}( 11.10 参考文献 258 85H8`YwPh 12 公差与误差 260 Z7%>O:@z 12.1 蒙特卡罗模型 260 8{h:z
9]J 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 wddF5EcK0 12.2.1 误差工具 267 |'a5nh! 12.2.2 灵敏度工具 271 %tpt+N? 12.2.2.1 独立灵敏度 271 FTk!Mn88 12.2.2.2 灵敏度分布 275 }l_) d 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
|EF*]qI 12.3 参考文献 276 6wxQ_Qz:Q 13 Runsheet 与Simulator 277 ogQbST 13.1 原理介绍 277 'rz*mR8 13.2 截止滤光片设计 277 kOkgsQQ 14 光学常数提取 289 Uu3[Cf=C 14.1 介绍 289 ZT|E1[Q 14.2 电介质薄膜 289 Eb#0-I 14.3 n 和k 的提取工具 295 h05
~ g 14.4 基底的参数提取 302 am@\$Sa4 14.5 金属的参数提取 306 qwVpGNc45 14.6 不正确的模型 306 %n{E/06f 14.7 参考文献 311 F
lbL`@4M 15 反演工程 313
+mH Kk 15.1 随机性和系统性 313 &)`A4bf% 15.2 常见的系统性问题 314 p+yU!Qj 15.3 单层膜 314 ~>+}(%<, 15.4 多层膜 314 Grkj@Q* 15.5 含义 319 A;{8\e 15.6 反演工程实例 319 yyBfLPXZ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 Imi_}NB+ 15.6.2 反演工程提取折射率 327 m]&d TZV 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 xe%+Yb] 16.1 光学性质的热致偏移 329 wUl}x)xo 16.2 应力工具 335 L,\ Yj 16.3 均匀性误差 339 b vUYLWzS 16.3.1 圆锥工具 339 =Y
/ 16.3.2 波前问题 341 8Zwq:lV Q 16.4 参考文献 343 HnU}Lhjzj 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 jcevpKkRG 17.1 引言 345 Ro?4tGn 17.2 操作数 345 kOJs;k 18 如何在Function中编写脚本 351 &Du!*V4A 18.1 简介 351 |} .Y&1@U 18.2 什么是脚本? 351 ~6{;3"^< 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 n,n]V$HFGh 18.4 基础 352 54tpR6%3p 18.4.1 Classes(类别) 352 ~
]o .Mv a 18.4.2 对象 352 "r.pU(uxt 18.4.3 信息(Messages) 352 uKhfZSx0w 18.4.4 属性 352 t0Ec`+) 18.4.5 方法 353 ~`
#t?1SP 18.4.6 变量声明 353 ?%;)> :3N 18.5 创建对象 354 Ql#:Rx>b 18.5.1 创建对象函数 355 ?][Mv`ST 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 Z]"ktb;+[ 18.5.3 丢弃对象 356 -/KVZ 18.5.4 总结 356 TRX; m|
18.6 脚本中的表格 357 piY=(y&3 18.6.1 方法1 357 WG(tt. 18.6.2 方法2 357 A1Rt 18.7 2D Plots in Scripts 358 ezy0m}@ 18.8 3D Plots in Scripts 359 [u/g =^+u 18.9 注释 360 &LHQ)? 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 8?P@<Do% 18.11 一个更高级的脚本 362 >qCUs3}C{* 18.12 <esc>键 364 S}ZM;M 18.13 包含文件 365 e9"<.:& 18.14 脚本被优化调用 366 ADlPdkmym 18.15 脚本中的对话框 368 v8_HaA$5Y 18.15.1 介绍 368 UiF ?Nx~ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 V$<og 18.15.3 输入框函数 370 j$Gb>Ex> 18.15.4 自定义对话框 371 }.MJVB3 18.15.5 对话框编辑器 371 3*XX@>|o 18.15.6 控制对话框 377 }-YD_Pm
K- 18.15.7 更高级的对话框 380 B%cjRwO T 18.16 Types语句 384 4vGkgH<, 18.17 打开文件 385 )O2giVq7[0 18.18 Bags 387 j<wWPv 18.13 进一步研究 388 H2|& 19 vStack 389 fg+Q7'*Vq 19.1 vStack基本原理 389
8X[G)J; 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 F;5.nKo 19.3 五棱镜 393 [6)`wi 19.4 光束距离 396 w/E4wp 19.5 误差 399 m3\lm@`)O 19.6 二向分色棱镜 399 :C_\.pA 19.7 偏振泄漏 404 )r5QOa/ 19.8 波前误差—相位 405 B TgL: 19.9 其它计算参数 405 97NF*-)N 20 报表生成器 406 M*}C.E! 20.1 入门 406 nlw(U3@7 20.2 指令(Instructions) 406 fQ'P2$ 20.3 页面布局指令 406 9<}d98 20.4 常见的参数图和三维图 407 M($dh9 A_ 20.5 表格中的常见参数 408 ,8cw jS2E 20.6 迭代指令 408 0;} 9XZ 20.7 报表模版 408 b.Z K1 20.8 开始设计一个报表模版 409 F+v? 2|03 21 一个新的project 413 lmo>z'< 21.1 创建一个新Job 414 s>76?Q:i 21.2 默认设计 415 (,[m}Qb?! 21.3 薄膜设计 416 ^SVdaQ{7 21.4 误差的灵敏度计算 420 WDWb7 21.5 显色指数计算 422 OjJKloy' 21.6 电场分布 424 k2_ " 后记 426 Vq -!1.v3
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