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即将模拟一个具有随机粗糙表面的正弦光栅。此模拟是通过使用VirtualLab中的一般二维光栅（General Grating 2D）元件堆栈中的可编程光学界面来完成的。 =6O*AJ
PB7- `uz 关键词：光栅，光栅工具箱，粗糙表面，可编程光学界面，光栅元件 EU>`$M&w-
+4 Pes 要求工具箱：光栅工具箱 >KvK'Mus/
Ej
5_d 相关应用案例：案例090.01，案例246.01
-{8K/! XPD1HN!,LT 一、模拟任务： EApbaS}Up 二、光栅的描述 |2@*?o"ll
AO]cnh C 1. 原始表面轮廓是一个平滑的正弦曲线轮廓，其周期为5μm，调制深度为468nm（使得最内侧三个级次的效率相同）。 -W<1BJE
%=Z/Frd 2. 该正弦曲线轮廓叠加入一个随机的变化，由VirtualLabTM中的可编程光学界面来模拟。 CfSP*g0rW
;b~\ [ 3. 用于模拟粗糙度的该代码片段有两个物理参数：最小特征尺寸（Smallest Feature Size）和总高度调制（Total Height Modulation）。使用种子（Seed）变量可以确定任意数目的生成器以获得一个可再生的结果。 W]7 /
e
FKu8R%9xn% 4. 变量“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）” *B }O
< F;+A{M) 下面将展示所得高度轮廓以及所得效率的图，其“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50 nm，“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为不同的值。 Uc'}y!R
0V21_" .S 1) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为0 zxCx2.7 !khEep} y%; o
: v;U 7 2) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为100nm Z+J4 q9^$ h=: /9O{H $--+M
D29Q 3) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为500nm w4Df? )Z ?6&8-zt1? L YF| 4) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1000nm C !Srv 7 L
1!V'Hm{ (IVhj^dQm 5) “最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1500nm AH5;6Q ^Y%_{
$ P?^GB>u 5. 参数运行 _ ` &l46
$Oy&PO e 1) 文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Smallest_Feature_Size.run包含了一个在“总的高度调制（Total Height Modulation）”为50nm时，随“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”变化的结果。 16 ~E
D_0Vu/v 2) 相反，文件Scenario_087.01_Grating_with_Rough_Surface__Total_Height_Modulation.run在“最小特征尺寸（Smallest Feature Size）”为1.5um时，将“总的高度调制（Total Height Modulation）”设置为变量。下面将给出这些变量的模拟结果。 _W _< bI34 kDWEgnXK,v 6. 具有不同的“总的高度调制（Total Height Modulation）”的结果 S#y[_ C?H U4 \v~n\ j;Z?q%M{6 qJrKt=CE 7. 总结 9g5h~ Ma
qx[c0X! 1) VirtualLabTM可以对粗糙高度轮廓表面的光栅进行严格模拟。 z<vh8dNl
aE 9Y
| 6 2) 可编程光学界面可以用来模拟用户自定义高度轮廓的光栅。 3dj|jw5
YnU)f@b# 3) 大的调制（在x-和y-方向）会造成原始衍射结果强烈的偏差。 !=,Y=5M,
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