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摘要 -yn;Jo2- Z/>0P* F F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 maopr$r OlI {VszR 建模任务 Q0cr^24/ EFKOElG(k 系统构建块-扫描源 |#D$9+ byUz How to Set Up a Scanning Source Jxy94y* )-4xI4 系统构建块-透镜系统组件 A"8"e* ZD'fEqM 系统构建块-参数耦合 _2C[F~ +l @JL+xfz Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion SWGD(]}uz u/2!v( 系统构建块-失真分析仪 {Z=m5Dy} fsDwfwil* 实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 l[J'FR: 4z##4^9g 虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。 4[]/ j7M[]/| 通用探测器和探测器附加组件 k)a-odNrb {,aI0bw; [Nn ?:5" MXj7Z3 Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: Ka"Z,\T
Q/,jv5 Universal Detector Lz9t9AoB =(~UK9` 总结-组件… uM^eoh_ -b4#/q+bb+ ZAG iaq 系统观感 !awfxH0 .#]
V5g, 通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 ByK!r~>Z1Q z$>_c"D i:ZL0nH- 性能评估-点位偏差 <6s?M1J =k1 ,jn+ #iOoi9( 性能评估-光斑直径测量 s2{d<0x?v O,kzU,zOs (,gpR4O[ %Hk9.1hn5 m"<Sb,"x! 此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 G Uf[Dz hZ0CnY8 ' VirtualLab Fusion技术 E-\<,=bh 3YG[~o|4
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