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    [技术]F-Theta扫描透镜的性能评估 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2023-05-06
    摘要 - yn;Jo2-  
                                        
    Z/>0P* F  
    F-Theta透镜通常用于基于扫描式的激光材料加工系统。使用这种透镜,聚焦光斑沿目标平面的位移与透镜焦距和扫描角度的乘积成正比。然而,不存在完美的F-Theta系统,因此在任何给定的系统中,偏离理想行为的偏差都是可以预期的。借助快速物理光学建模和设计软件VirtualLab Fusion中的扫描源,通过测量不同角度下实际光斑位置与期望值之间的偏差,分析了给定F-Theta透镜的性能。 maopr$r  
    OlI{VszR  
    建模任务 Q0cr^24/  
    EFKOElG(k  
    系统构建块-扫描源                                                
    |#D$9+  
    byUz  
    How to Set Up a Scanning Source Jxy94y*  
                                                                                   )-4xI4  
    系统构建块-透镜系统组件                                                                 A"8"e*  
     ZD'fEqM  
    系统构建块-参数耦合 _2C[F~ +l  
       @JL+xfz  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion SWGD(]}uz  
                                                                                  
    u/2!v(  
    系统构建块-失真分析仪 {Z=m5Dy}  
                                                                          
    fsDwfwil*  
    实际焦点位置与参考焦点位置之间的偏差表明了F-Theta透镜的性能。这些信息可以使用Distortion Analyzer计算。 l[J'FR:  
    4z##4^9g  
    虽然实际焦点点位置将由模拟计算,但参考焦点点位置可以指定为角度本身或其切线上的线性。                                                                                4[] /  
    j7M[]/|  
    通用探测器和探测器附加组件                                                    
    k)a-odNrb  
    {,aI0bw;  
    [Nn ?:5"  
     MXj7Z3  
    Universal Detector允许用户评估探测器接收到的光场,并通过使用所谓的附加组件计算各种物理量。附加组件可以相互提供信息(即,它们可以嵌套);在我们的例子中,我们使用场数据来计算辐射能密度,然后使用该数据上的另一个附加项来获得场大小(FWHM)。更多资料见: Ka"Z,\T   
    Q/ ,j v5  
    Universal Detector Lz9t9AoB  
                                                                                   =(~UK9`  
    总结-组件 uM^eoh_  
    -b4#/q+bb+  
    ZAG ia q  
    系统观感   ! awfxH0  
    .#] V5g,  
    通过系统:三维可视化,不同FoV模式可以通过颜色编码来区分。此外,可以检查场的轨迹,以便将探测器放置在正确的位置。 ByK!r~>Z1Q  
    z$>_c "D  
    i: ZL0nH-  
    性能评估-点位偏差 <6s?M1J  
    =k1 ,jn+  
                                  
    #iOoi9(  
    性能评估-光斑直径测量                                                       s2{d<0x?v  
    O,kzU,zOs  
    (,gpR4O[  
    %Hk9.1hn5  
    m"<Sb,"x!  
    此外,该结果可用于更深入地分析由F-theta系统产生的斑点。例如,对光斑大小的检查显示,对于更高的输入角度,单个焦点变得越来越椭圆形。 G Uf[Dz  
    hZ0CnY8 '  
    VirtualLab Fusion技术 E-\<,=bh  
        
    3YG[~o|4  
     
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