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"6/` oXwoi! 内容简介 "pq#A* Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 V%k[S|f3 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 rP.qCl+J 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Ggy_
Ctu 讯技科技股份有限公司 y
XZZ)i_
,>CFw-Nxu Tz .! 目录 3/8o)9f. Preface 1
r(pp = 内容简介 2 ,c"_X8Fkx$ 目录 i vPEL'mw/3# 1 引言 1 TF 6_4t6 2 光学薄膜基础 2 KquHc-fzqr 2.1 一般规则 2 sKIWr{D 2.2 正交入射规则 3 flTK 2.3 斜入射规则 6 *v3/8enf 2.4 精确计算 7 V ~w(^;o@ 2.5 相干性 8 xdp!'1n."g 2.6 参考文献 10 L>$yslH;b 3 Essential Macleod的快速预览 10 <4}zl'. 4 Essential Macleod的特点 32 FT73P0!8. 4.1 容量和局限性 33 jPYed@[+ 4.2 程序在哪里? 33 uRG0}>]|U 4.3 数据文件 35 BDZB;DPb 4.4 设计规则 35 s]`&9{=E 4.5 材料数据库和资料库 37 K^t M$l\ 4.5.1材料损失 38 =]E(iR_& 4.5.1材料数据库和导入材料 39 QQPbKok> 4.5.2 材料库 41 pI7\]e 4.5.3导出材料数据 43 P,!si# 4.6 常用单位 43 $s.:wc^ 4.7 插值和外推法 46 T8>:@EL-k 4.8 材料数据的平滑 50 9'3%%o 4.9 更多光学常数模型 54 h>= e<H?f 4.10 文档的一般编辑规则 55 Yo;/7gG> 4.11 撤销和重做 56 G_zJuE$V 4.12 设计文档 57 }MY7<sMDOy 4.10.1 公式 58 raY5 nc{ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ~R-S$qizAC 4.10.3 沉积密度 59 CyO2Z
4.10.4 平行和楔形介质 60 vn3<LQ] 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 H,txbJ 4.10.4 性能 61 EiWy`H; 4.10.5 保存设计和性能 64 R'qB-v. 4.10.6 默认设计 64 M_+&XLnzsJ 4.11 图表 64 is?`tre\P 4.11.1 合并曲线图 67 62rTGbDbx 4.11.2 自适应绘制 68 K"VphKvR 4.11.3 动态绘图 68 C$oY,A, 4.11.4 3D绘图 69 w_pEup\` 4.12 导入和导出 73 k(<5tv d 4.12.1 剪贴板 73 1;3oGuHj8 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 +l@H[r;$ 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 xB3;%Lc 4.13 背景 77 <(`dU&&%"} 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 epj]n=/}[ 4.15 生成Rugate 84 [VIdw92 4.16 参考文献 91 r4dG83qg 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 ,)'!E^n 5.1 Jobs 92 Dk|S`3 5.2 创建一个新Job(工作) 93 "5%G[MB 5.3 输入材料 94 Tk$rwTCl 5.4 设计数据文件夹 95 #9}KC 9f 5.5 默认设计 95 l"RX`N@In 6 细化和合成 97 6#vD>@H 6.1 优化介绍 97 |;'V":yDs 6.2 细化 (Refinement) 98 rtv\Pf| 6.3 合成 (Synthesis) 100 +e<P7}ZQ 6.4 目标和评价函数 101 hD{+V!{ 6.4.1 目标输入 102 N~l(ng9'U 6.4.2 目标 103 uzG<(Q pu 6.4.3 特殊的评价函数 104 bB3Mpaw@ 6.5 层锁定和连接 104 iI+kZI- 6.6 细化技术 104 }cgEC- 6.6.1 单纯形 105 WqqrfzlM 6.6.1.1 单纯形参数 106 NSHWs%Zc 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 #6fp" 6.6.2.1 Optimac参数 108 #!rng]p 6.6.3 模拟退火算法 109 w;0NtV| 6.6.3.1 模拟退火参数 109 QXishHk& 6.6.4 共轭梯度 111 d?WA}VFU 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 l*HONl&j 6.6.5 拟牛顿法 112 N\=pH{ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 1""9+4 6.6.6 针合成 113 `j0T[Pi 6.6.6.1 针合成参数 114 C>$5<bx 6.6.7 差分进化 114 Et(Q$/W 6.6.8非局部细化 115 P[ n`X 6.6.8.1非局部细化参数 115 G^p>fy~ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 wblEx/FqE^ 6.7.1 细化 116 gR.zL>=_5e 6.7.2 合成 117 mj[PKEdkB 6.8 参考文献 117 cbsy&U 7 导纳图及其他工具 118 JTNQz 7.1 简介 118 uTA
/E9OY 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 yJWgz`/L 7.2.1 四分之一波长规则 119 Me yQ`% 7.2.2 导纳图 120 A|CW4f, 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Zq2dCp% 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 n*CH,fih: 7.5 斜入射导纳图 141 3qiE#+dC 7.6 对称周期 141 `Q1S8i$ 7.7 参考文献 142 vvv~n]S6 8 典型的镀膜实例 143 {CR~G2Z 8.1 单层抗反射薄膜 145 ?}m/Q"!1 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 6LL/wemq 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 w3 PE.A"Q 8.4 W-膜层 148 /S$p_7N 8.5 V-膜层 149 WSn^P~vC 8.6 V-膜层高折射基底 150 kwMuL>5 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 = PcmJG] 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 <_uLf9ja 8.9 四层抗反射薄膜 153 skR/Wf9DH 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 ct3QtX0B 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 1}tZ,w> 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 :7D&=n ) 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 2JYp.CJv 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 -. L)-%wIV 8.15十五层宽带抗反射膜 159 |]RV[S3v 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 @SDsd^N{2P 8.17 1/4波长堆栈 162 7e/Uc!&* 8.18 陷波滤波器 163 S+R<wv,6 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 }+nC}A"BC 8.20 褶皱 165 pB|L%#.cW 8.21 消偏振分光器1 169 }$hxD9z 8.22 消偏振分光器2 171 -i V&-oP 8.23 消偏振立体分光器 172 AT<gV/1l 8.24 消偏振截止滤光片 173 A5!jrSyv 8.25 立体偏振分束器1 174 P1vr}J 8.26 立方偏振分束器2 177 F_/]9tz?; 8.27 相位延迟器 178 2"~!Pu^.j 8.28 红外截止器 179 l:a+o gm3 8.29 21层长波带通滤波器 180 J|sX{/WT 8.30 49层长波带通滤波器 181 Lt8chNi
[ 8.31 55层短波带通滤波器 182 S59!+V 8.32 47 红外截止器 183 C (vi ns 8.33 宽带通滤波器 184 0L$v7,
5 8.34 诱导透射滤波器 186 `~WxMY0M 8.35 诱导透射滤波器2 188 )pjd*+V 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 b3wE8Co 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 )UI$s" 8.35 增益平坦滤波器 193 F:%= u
= 8.38 啁啾反射镜 1 196 <GF)5QB 8.39 啁啾反射镜2 198 /,"Z^= 8.40 啁啾反射镜3 199 DIB Az s 8.41 带保护层的铝膜层 200 ;9q3FuR 8.42 增加铝反射率膜 201 a_^3:}i~D 8.43 参考文献 202 }9R45h}{< 9 多层膜 204 F
71 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 @CP"AYB # 9.2 内部透过率 204 rFM`ne<zh 9.3 内部透射率数据 205 Fm3-Sn|Po 9.4 实例 206 nSz Fs(]f 9.5 实例2 210 tv+q~TFB=Z 9.6 圆锥和带宽计算 212 bS3qX{5 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 *;7& 10 光学薄膜的颜色 216 ]cc4+}L~ 10.1 导言 216 5>t&)g 10.2 色彩 216 lN,b@; 10.3 主波长和纯度 220 /_rQ>PgSZW 10.4 色相和纯度 221 qDqIy+WR 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 >B>CV8p6w 10.6 色差 226 -WB?hmx 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 _c['_HC 10.8 颜色渲染指数 234 V-}d-Y 10.9 色差计算 235 $G"PZ7 10.10 参考文献 236
doBfpQ2 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 y rdJX 11.1 短脉冲 238 ":"QsS#*"# 11.2 群速度 239 H:`W\CP7_ 11.3 群速度色散 241 R I:x`do 11.4 啁啾(chirped) 245 1T%Y:0 11.5 光学薄膜—相变 245 PkLRQ} 11.6 群延迟和延迟色散 246 % rdW: 11.7 色度色散 246 v>c[wg9P 11.8 色散补偿 249 f/Grem 11.9 空间光线偏移 256 a{L`C"rJ 11.10 参考文献 258 C:hfI;*7 12 公差与误差 260 //JF$o=)D 12.1 蒙特卡罗模型 260 DvG. G+mo# 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 Q# }} 1}Ja 12.2.1 误差工具 267 j23OgbI 12.2.2 灵敏度工具 271 gu/eC 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ,M>W) TSH 12.2.2.2 灵敏度分布 275 ,YSQog 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 DHbLS3- 12.3 参考文献 276 Gc~A,_( 13 Runsheet 与Simulator 277 KA`1IW; 13.1 原理介绍 277 kNI m90,g 13.2 截止滤光片设计 277 *<x]gV 14 光学常数提取 289 2
L%d,Ta> 14.1 介绍 289 `-\4Dx1!q 14.2 电介质薄膜 289 \C
ZiU3 14.3 n 和k 的提取工具 295 vPi\ vU{ 14.4 基底的参数提取 302 lBR6O!sBP 14.5 金属的参数提取 306 {uM0J$P : 14.6 不正确的模型 306 zf$OC}|\w 14.7 参考文献 311 7_S+/2}U* 15 反演工程 313 -v&Q'a 15.1 随机性和系统性 313 RT9fp(6* 15.2 常见的系统性问题 314 Y5-X)f 15.3 单层膜 314 ~"gOq"y5p 15.4 多层膜 314 N,(@k[uta 15.5 含义 319 6aM`qz) 15.6 反演工程实例 319 3_fLafA 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 /_*: 15.6.2 反演工程提取折射率 327 kX'1.<[ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 j6/ 3p|E 16.1 光学性质的热致偏移 329 (+Gd)iO 16.2 应力工具 335 `vDg~o 16.3 均匀性误差 339 Yl&eeM 16.3.1 圆锥工具 339 ZB`!@/3X 16.3.2 波前问题 341 ppR_y 16.4 参考文献 343 4-E9a _ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 Wxjk}&+pVa 17.1 引言 345 e:AB!k^xp$ 17.2 操作数 345 *#N%3:@T 18 如何在Function中编写脚本 351 J0@m
Ol 18.1 简介 351 OA%.>^yb@ 18.2 什么是脚本? 351 klT6?'S 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 ^P"t
" 18.4 基础 352 CS50wY 18.4.1 Classes(类别) 352 ^[&*B#( 18.4.2 对象 352 ?
@h 18.4.3 信息(Messages) 352 `WWf?g 18.4.4 属性 352 Bpo~x2p 18.4.5 方法 353 mrFMdpaHl% 18.4.6 变量声明 353 @*is]d+Ya 18.5 创建对象 354 Z6K9E=%)c 18.5.1 创建对象函数 355 SK;f#quUQ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 A
|NX" 18.5.3 丢弃对象 356 |1J "r.K 18.5.4 总结 356 [DGq{(O 18.6 脚本中的表格 357 Y
+HVn0~qz 18.6.1 方法1 357 "N4c>2Q 18.6.2 方法2 357 8uyVx9C0 18.7 2D Plots in Scripts 358 "9LPq 18.8 3D Plots in Scripts 359 &Radpb2p6 18.9 注释 360 J#Bz)WmR 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 1?7QS\`)fB 18.11 一个更高级的脚本 362 /RX7AXXB 18.12 <esc>键 364 @{+*ea7M(` 18.13 包含文件 365 vFl| 18.14 脚本被优化调用 366 ZJy
D/9y 18.15 脚本中的对话框 368 lba*&j]w= 18.15.1 介绍 368
;wW6x 18.15.2 消息框-MsgBox 368 O-|RPW} 18.15.3 输入框函数 370 rp=?4^(u 18.15.4 自定义对话框 371 OX8jCW 18.15.5 对话框编辑器 371 7T4rx53 18.15.6 控制对话框 377 HFo}r~ 18.15.7 更高级的对话框 380 I*K^,XY+ 18.16 Types语句 384 *aG0p&n} 18.17 打开文件 385 5wGyM10 18.18 Bags 387 t9 &O0tpe 18.13 进一步研究 388 F4bF&% R 19 vStack 389 B-@f.NO/s 19.1 vStack基本原理 389 -z'@Mh|i6l 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 HK2`.'D 19.3 五棱镜 393 Qf=%%5+?8 19.4 光束距离 396 f fE%{B? 19.5 误差 399 nr s!e 19.6 二向分色棱镜 399 }f6.eqBX4 19.7 偏振泄漏 404 ;`F0
%0d 19.8 波前误差—相位 405 r9b`3yr= 19.9 其它计算参数 405 ;=C^l 20 报表生成器 406 U$Ew,v< 20.1 入门 406 ^e&,<+qY 20.2 指令(Instructions) 406 ef!I |.FW 20.3 页面布局指令 406 |d{(&s} 20.4 常见的参数图和三维图 407 T}u ' 20.5 表格中的常见参数 408 $1Xg[>1g5 20.6 迭代指令 408 .3ic%u;|D 20.7 报表模版 408 @B&hR} 4 20.8 开始设计一个报表模版 409 *}mtVa_| 21 一个新的project 413 [FC%_R&& 21.1 创建一个新Job 414 WZFV8' 21.2 默认设计 415 x; b'y4kH 21.3 薄膜设计 416 m$@Cw Qj 21.4 误差的灵敏度计算 420 !w
C4ei` 21.5 显色指数计算 422 '}!dRpx 21.6 电场分布 424 Aq";z.gi+ 后记 426 JBU
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