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摘要 %56pP"w P{)H7B> 直接设计非近轴衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大，元件的特征尺寸与工作波长在相同的数量级上。因此，设计过程超出了近轴建模方法。因此，在这个例子中，迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计结构，和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。 ?u"(^93f
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VXQS~#dQj 设计任务 m}:";>?# Vxj EKc 使用近轴近似的衍射1：7×7分束器的初步设计通过严格分析，进一步优化零阶均匀性和影响 _t6 siB_u
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 ZB:Fjq j$T2ff6 光栅级次分析模块设置 PtO-%I<N ^8.R 'Yq q?[{fcNh$
使用常规的分束器会话2编辑器，VirtualLabFusion提供了一个指导工具，允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的参数。 mvVVPf9
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1. 通过应用设计带中的结构设计，所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。 +6* oO|
2. 对于此转换，使用了薄元近似(TEA)。因此，所得到的结构与初始相位函数成正比。 SjKIn-
3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。 $%;NX [>j
4. 要在不同的模拟场景中使用这种结构，需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。 TcZ
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 AS|gi!OVA 衍射分束器表面 dS0G+3J&+E
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为了进一步评估，使用了通用光栅光学设置，其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪，以进一步研究给定周期结构的特性和性能。 &w2.b:HF
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U S 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) #Q 2$v;
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一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。 PfnhE>[>cf
薄元近似通常产生更快的结果，当结构小于波长的5倍,可能有精度问题，。 Vt
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傅里叶模态方法允许一个严格的模拟，但需要更高的数值计算。 $Y $!nPO
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 IAnY+= ^ n.$<D[@ 光栅级次和可编程光栅分析仪 xVfJ ]Y
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光栅级次分析仪提供了所有衍射阶的效率的概述，作为许多可能的输出。 q5lRc=.b[
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使用可编程光栅分析仪，用户可以指定应计算的值。例如:总效率、均匀性误差、0阶效率 ~rpYZLH/:0
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设计与评估结果 n9bX[+#d
相位功能设计 SnQ $
结构设计 , >{4*PM(
TEA评价 c1|o^ eZ
FMM评估 xhUQ.(S`r6
高度标度（公差） t~5>PS (4M# (I~cE 通用设置 eqeVz`
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提供多次运行文档，允许用户执行任意数量的设计，并提供根据特定标准筛选结果的选项。 l,6="5t
通过这种方法获得了以下三个结果：我们将对其进行进一步评估。 8"o S1W 7dPA>5"XD
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纯相位传输设计 4yRT!k}o rZJp>Q)s
 bI]1!bi]i eDaVoc3 结构设计 %3xH<$Gq5
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更深的分析 6K `frt
•高度剖面的缩放对零阶有很大影响。 !Toq~,a8?
•可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率，从而改善均匀性。 E8%O+x}
•参数运行是执行此类调查的最佳工具。 O,^,G<`
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 ,0- j{p0yuZ)< 使用TEA进行性能评估 !29
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P Cw.NJd$ 使用FMM进行性能评估 *:YW@Gbm
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 5n(p 1OM2q r\Man'h$ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 m{b( ^K9}
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 z2"2Xqy<U UK X'A)$ 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 Gc@ENE f
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"}PmAr e 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化 =FwFqjvl
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