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在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 l<LI7Z]A 'Aq{UGN WiR(;m<g aP+X}r 建模任务 IY\5@PVZ }rw8PZ9 UECK:61Me 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) />pI8 g< 3$>1FoSk 某一位置的Talbot图样 q"8ea/ X *"i6* c9u`!'g`i xj;H&swo 某一位置的Talbot图样 dOH& mnX2a @,7GaK\ #a,PZDaE 不同位置的Talbot图样 k(G^z f+)L#>Gl? #'szP\ Hd ={CFip 不同位置的Talbot图样 ,m|h<faZL F/kWHVHU[ 8^1 Te m YZ8>OwQz2 沿Z轴的强度 eJX9_6m- ^A&1^B O-hAFKx LCKV>3+_# 走进VirtualLab Fusion L^?qOylu %pL''R9VF )}Kf= qt"m VirtualLab Fusion的工作流程 0pd'93C "JV_ 2K_i 构建光栅结构 "`e{/7I - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] *P=VFP - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] rw JIx|( !M1"b; 通过参数运行计算不同位置的强度 w;amZgD> - 参数运行文件的使用 [用例] oAeUvmh ^k">A:E2 3bH'H*2 Y\8)OBZ VirtualLab Fusion技术 n 0L^e \X D6 pr@ kxhWq:[c _A9AEi'.
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