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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 Vk2$b{VdF  
    D"7}&Ry:  
    KC/O EJ`  
    X/5m}-6d]  
    亮点 C6!F6Stn]g  
    oC0ndp~+&  
     dlu*s(O"  
    O]N/(pe:d  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） O?uICnmi6  
     严格分析光栅衍射效率 waMF~#PJlt  
     考虑入射光的方向分布 I)HO/i 6>3  
    K;F1'5+=D  
    说明：光源 ' zyw-1  
    9"~ FKMN  
    y|`-)fY  
    `DM%a~^yg  
    说明：光束分束器 I G1];vX  
    T{dQ4 c  
    & 3#7>oQ  
    'uL4ezTtA  
    说明：检测透镜系统 'l*X?ccKy  
    f{BF%;  
    3j7FG%\  
    wQxI({k@  
    说明：微型晶片 4Aj~mA  
    MN?aPpr>  
    '$ei3  
    VfU"%0x  
    说明：检测物镜 Z.VKG1e}  
    xSY"Ru  
    =uP? ?E  
    ^rWg:fb  
    说明：探测器 4 m:h&^`N  
    (_FU3ZW!  
    &Ok1j0~~  
    {_9O4 + &  
    结果：3D光线追迹（只有0级） "\4W])30  
    s.J 4&2Q  
    yD+4YD  
    Exb64n-_=  
    结果：3D光线追迹（所有级） ] !/  
     -WC0W  
    eL3 _Lz  
    [LoQYDku  
    结果：光线追迹 pz%s_g'  
    ;(C<gt,r}  
     AtQ.H-8r  
    O<S.fr,  
    结果：场追迹 dq 93P%X24  
    5m8u:6kQu  
     vJWBr:`L  
    nCQtn%j't  
    结果：线性偏振光的场追迹 x|O7}oj  
    5B=uvp|Y  
    Xf u0d1b  
     
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