|
|
本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是： Zw3hp,P] 定义单向弯曲器件的材料 3JwSgc b 定义系统设置 Y/QK+UMW* 创建弧形波导 iPRJA{$b_ 插入输入平面 w*]_FqE 选择输出数据文件 TXY 运行仿真 ?S;et2f 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 $Qx(aWE0
BV_a-\Sa= 1. 定义单向弯曲器件的材料 ee__3>H"/ 要定义单向弯曲器件的材料，请执行以下步骤。 $~;6 hnr m 步骤 操作 |V*e2w 1) 从文件菜单中，选择新建。 }W Bm%f 出现“初始属性”对话框（参见图1）。 fSgGQ
D4 gK] T} 图1.初始属性对话框 NK*:w *SOI
2) 单击轮廓和材料（参考图1）。 gwkZk-f\p 将出现“轮廓设计器”窗口（参见图2）。 #,Fx@3y\a 注意：若要确保可以查看所有信息，请最大化“轮廓设计器”窗口。 7~Xu71^3s hfP(N_""S 图2.轮廓文件设计器 lcuH] z
3) 创建以下介电材料： R[2 [[M 名称：包层（Cladding） HzFt 折射率（Re :)：1.442 tPMg Z
r( `8A:#d 4) 要保存资料，请单击“存储”。 Bk@_]a
}b\ipA,~ 5) 创建第二种介电材料： |iF 1 A
|\{J` 5gr 名称：波导层（Guide） /eI ,]CB'z 折射率（Re :)：1.45 Jf8'N
ot
o9(#KC?3 6) 要保存资料，请单击“存储”。 E(L^hZMc
123-i,epg 7) 创建以下通道： +L<w."WG 轮廓名称：通道1 :;#c:RKi: 2D轮廓定义材料：波导（Guide） o 2$<>1^ 8) 要保存通道，请单击“存储”。 h;mQ%9 Yd 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 bx 'B;rZr 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI _cnrGi}T
kB!M[[t 2. 定义系统设置 @b(gjOE 要定义系统设置，请执行以下步骤。 LqH?3): 步骤 操作 \)s 3]/"7 1 点击默认波导标签
_j?=&tc 2 在轮廓文件列表中，单击通道。 ^AC+nko * 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 r >D[5B 4 键入以下值： v6,
o/3Ex 长度：800 LVz%$Cq,0 宽度：50 g^|_ X1{ 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 :O_<K & 6 在“材质”列表中，单击“包层（Cladding）”。 <=LsloI 7 要将设置应用于系统，请单击“确定”。 Yc ( )'6 出现布局窗口（参见图3）。 TBLk+AR q'U-{~ q% 图3.布局窗口 m'vOFP)' 3. 创建弧形波导 ::h02,y;1% 要创建弧形波导，请执行以下步骤。 W g3WE1V 步骤 操作 hJL0M ! 1) 从“绘制（Draw）”菜单中，选择“弧形波导”。 ~(L<uFU V 光标变成十字线。 rea}Uq+po 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导，请在布局的左侧单击，向布局窗口的右侧拖动弧，然后释放以完成绘制弧（参见图4）。 1Y"y!\t7G j$/uJ` 图4.绘制一个弧形波导 #' {PY r
注意：弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 -V)5Tr= 3) 单击 ，然后单击弧形波导选择它。 %nK 15( 4) 要编辑弧形波导，请从编辑菜单中选择属性。 ~O3uje_ 出现弧形波导属性对话框（参见图5） 9\;/-0P GA*Khqdid 图5.弧形波导属性对话框 */@bNT9BgO
5) 点击起始标签 #._6lESK 6) 在偏移下，键入以下值（见图6）： 97@?QI} 水平：0 [8(9.6f 垂直：-10 rD)v%vvr&` lKD< 图6.初始偏移值 bTYP{x~ y
7) 在“波导半径”下，选中“固定半径”复选框。 \|4MU"ri 激活表达式框（参见图7）。 H@bmLq 7 |?@\ZE 图7.波导半径 _TeRsA
8) 键入以下值： 7m)ykq :? 表达式：4000 ;$&5I9N 9) 单击终止选项卡。 9kiy^0
7G 10) 在偏移下，键入以下值（见图8）： 7]+'%Uwu) Horizontal：800 +,w|&y 垂直：-8 sA7K ;J}) 4Og GZ 图8终止偏移值 $ {H&Q*
11) 输入以下值： UyfIAC$S 宽度：4 1$!K2=%OXj 12) 点击“OK”。 %b'VEd7 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化（参见图9）。 v-]-wNqT Wn</",Gf 图9.修改的弧形波导 m&vYZ3vK[ 4. 插入输入平面 i!-sbwd7 要插入输入平面，请执行以下步骤。 ktJLp Z<0O 步骤 操作 9w< _XXQ 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 [~%;E[ky$ 2) 要插入输入平面，请单击布局窗口的左侧。 uS10P7N} 输入平面出现（参见图10）。 @G-k]IWi E
MbI\=>yS 图10.输入平面 /hy!8c7
3) 要编辑输入平面，请从编辑菜单中选择属性。 17i@GnbNb 出现“输入平面属性”对话框（参见图11）。 zEL[%(fnc
3cQmxp2*
...... u e2nfp
%Q4w9d
未完待续 4o8HEq! 来源：讯技光电 ^ x#RUv
|
