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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: XZh1/b^DMN 定义单向弯曲器件的材料 ,,FO6+4f 定义系统设置 Ch] `@(l 创建弧形波导 v&7yqEm}B 插入输入平面 *5e"suS2 选择输出数据文件 N7Kg52| 运行仿真 0|Rt[qwKb@ 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 V(lxkEu/Fj 0mt lM( 1. 定义单向弯曲器件的材料 _Wb3,E a= 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 x=S8UKUx 步骤 操作 Gy]ZYo( 1) 从文件菜单中,选择新建。 Jw+k=> 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 QPD[uJ(I 4!vovt{ 图1.初始属性对话框 U"qR6 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 K2Z]MpLD 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 \!51I./Q/ 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 0Z.X;1= n_ 3g 图2.轮廓文件设计器 k<Y}BvAYB 3) 创建以下介电材料: e(z'uA{! 名称:包层(Cladding) 8|cQW-L 折射率(Re :):1.442 nB|m!fi< T^Lg+g+I 4) 要保存资料,请单击“存储”。 G5oBe6\C > w-fsL 5) 创建第二种介电材料: oCxh[U@*D Ye=c;0V(w 名称:波导层(Guide) IYG,nt! 折射率(Re :):1.45 h,*-V 'X.k (kY wD 6) 要保存资料,请单击“存储”。 ["u:_2!4P /bSAVSKR 7) 创建以下通道: GG=R!+p2 轮廓名称:通道1 (drDC1\ 2D轮廓定义材料:波导(Guide) 9K:ICXm 8) 要保存通道,请单击“存储”。 K,f"Q<sU% 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 JS!`eO/8 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI #5%\~f P\rA>ZY 2. 定义系统设置 {<P{uH\l 要定义系统设置,请执行以下步骤。 XU*4MU^' 步骤 操作 NMvNw?] 1 点击默认波导标签 /5wIbmz@I 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 #xoFcjRE 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 %wQE
lkB 4 键入以下值: N<N uBtkA 长度:800 /)J]m 宽度:50 2:jWO_V@ 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 &y+)xe:&S 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 -+HD5Hc 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 lJJ`aYDp 出现布局窗口(参见图3)。 xt zjFfq X(npgkVP\ 图3.布局窗口 0s72BcP 3. 创建弧形波导 B.#.gB#C 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 Q3'L\_1L 步骤 操作 F@l d#O 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 >mW*K _~ 光标变成十字线。 hRI?>an 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 ^//`Dz l
Zz%W8" 图4.绘制一个弧形波导 3Hi[Y[O`%P 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 0x2[*pJ|IW 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 @=6*]:p2. 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 DEQ7u`6 出现弧形波导属性对话框(参见图5) V$fn$= hkDew0k 图5.弧形波导属性对话框 r!&}4lHYi 5) 点击起始标签 oC~+K@S 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): m:)sUC0 水平:0 v
8B4%1NE 垂直:-10 aXgngwq *[+{KJ 图6.初始偏移值 o#QS: '| 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 /2x@Z> 激活表达式框(参见图7)。 ]T; PlRcrT"#w 图7.波导半径 sEHA?UP$<F 8) 键入以下值: 4XgzNwm 表达式:4000 <T`&NA@%~$ 9) 单击终止选项卡。 jL0=a.; 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): 6^sH3=# Horizontal:800 .W51Cup@& 垂直:-8 *:Uq
;)* I#:Dk?"O2 图8终止偏移值 T_ga?G< 11) 输入以下值: mCSt.n~ 宽度:4 "V<WC" 12) 点击“OK”。 "]}?{2i;
弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 i}/Het+( T-y5U}, 图9.修改的弧形波导 5"&=BD~D 4. 插入输入平面 (g3DI*Z 要插入输入平面,请执行以下步骤。 30bdcDm, 步骤 操作 W=I~GhM 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 Sr>5V 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 Y'Yu1mH) 输入平面出现(参见图10)。 `RyH~4\; i?D)XXB85 图10.输入平面 'iX y?l 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 3oMa 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 c!a1@G w"q^8"j! ...... KT0Pmpp5 =}%Q}aPp 未完待续 P=m
l;xp 来源:讯技光电 P\%aJ'f~
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