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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: C;!h4l7L 定义单向弯曲器件的材料 mc5$-}1V, 定义系统设置 /K#J63 , 创建弧形波导 2$QuR~ 插入输入平面 >z a= v 选择输出数据文件 6I\mhw!pQ 运行仿真 1HNX6 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 6NqLo^ "g 2$%0~Z5 1. 定义单向弯曲器件的材料 S{ !m})1? 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 SjOIln 步骤 操作 zn{[]J 1) 从文件菜单中,选择新建。 g7W\
& 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 EC|b7 mkmVDRK 图1.初始属性对话框 j2|!h%{nI 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 kOuQR$9s 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。
cYEe`?* 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 Pi|oO-M 6Bm2_B 图2.轮廓文件设计器 6hm6h7$F1 3) 创建以下介电材料: KbV%8nx!! 名称:包层(Cladding) TS<uBX 折射率(Re :):1.442 cM'5m T)B1V,2j= 4) 要保存资料,请单击“存储”。 *:A)j?( QWGFXy,=1 5) 创建第二种介电材料: "ae55ft// %z0@4Gq 名称:波导层(Guide) 9w FQ<r 折射率(Re :):1.45 rJm%qSZz jNNl5. 6) 要保存资料,请单击“存储”。 &^YY>]1Py
qz:_T 7) 创建以下通道: #0 WO~wL 轮廓名称:通道1 N6<23kYM 2D轮廓定义材料:波导(Guide) \
o&i63u 8) 要保存通道,请单击“存储”。 |"Oazll 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 /_554q 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI %rRpUrnm I1H:h 2. 定义系统设置 <!|2Ru 要定义系统设置,请执行以下步骤。 :+,qvu!M7 步骤 操作 ),6Z1 K1 1 点击默认波导标签 XfT6,h7vFL 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 X|wXTecg*| 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 6%_d m' 4 键入以下值: kB]|4CG{ 长度:800
afc?a-~Z 宽度:50 o&~z8/?LA 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 ;SVF"Uo 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 `"CF/X^ 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 V*'9yk" 出现布局窗口(参见图3)。 4"j5@bppJ yK&)H+v 图3.布局窗口 2s6Hr;^w.1 3. 创建弧形波导 8YN+
\ 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 aV(*BE/@F 步骤 操作 q#Qr@Jf 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 [*>@hx 光标变成十字线。 {+t'XkA 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 I|O~F e. tY:-13F 图4.绘制一个弧形波导 95wV+ q* 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 73.o{V 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 r% '2a+}D 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 nw5#/5xw 出现弧形波导属性对话框(参见图5) % NS]z ;G e:V,>RbC0s 图5.弧形波导属性对话框 28BiuxVW 5) 点击起始标签 |ns^'q 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): WuGm~<NS 水平:0 l1wxs@]( 垂直:-10 O.K8$ ?0;b}Xl-
图6.初始偏移值 c@q>5fR/c 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 6y5arP*6e 激活表达式框(参见图7)。 #lLL5ji d=4MqX r 图7.波导半径 T8hQ< \g 8) 键入以下值: ld@f:Zali 表达式:4000 kkOYC?zE? 9) 单击终止选项卡。 kh,M'XbTo 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): tc,7yo\". Horizontal:800 _mkI;<d]$T 垂直:-8 Yu1xJgl \AK|~:\] 图8终止偏移值 'b^:"\t'Rh 11) 输入以下值: DU7Ki6 宽度:4 x)*/3[ 12) 点击“OK”。 6|dUz*Pr|\ 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 i~F Ct4 x.r`( 图9.修改的弧形波导 -=sxbs.aA 4. 插入输入平面 m9B3]H 要插入输入平面,请执行以下步骤。 4*9Dh 步骤 操作 g<dCUIbcQ 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 RY~)MS _C 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 r?+u}uH 输入平面出现(参见图10)。 ``E;!r="v YJ6vyG>%C 图10.输入平面 Ti/iD2g 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 ,/ig8~u'c 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 ;_SS3q &S-& 'ZAY ...... QNtr = !KlSw,&=.6 未完待续 JWn{nJ$] 来源:讯技光电 `i:0dVs
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