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本课程描述了如何创建单向弯曲器件。 具体流程是: '/
3..3k 定义单向弯曲器件的材料 ry}CND(nB 定义系统设置 c>d+q9M 创建弧形波导 R7cY$K{j 插入输入平面 >L#&L?# 选择输出数据文件 <x DD*u 运行仿真 B&|F9Z6D 在OptiBPM_Analyzer中查看仿真结果 R(@7$ ]od]S8$5 1. 定义单向弯曲器件的材料 7QL>f5Q 要定义单向弯曲器件的材料,请执行以下步骤。 [r_,BH\nu 步骤 操作 3EB8ls2 1) 从文件菜单中,选择新建。 k!O#6Z 出现“初始属性”对话框(参见图1)。 |0n h ~d_Z?Z 图1.初始属性对话框 uy{mSx?td 2) 单击轮廓和材料(参考图1)。 2-nL2f!a{p 将出现“轮廓设计器”窗口(参见图2)。 `Q6@,-(3 注意:若要确保可以查看所有信息,请最大化“轮廓设计器”窗口。 x:=Kr@VP rFZB6A<(] 图2.轮廓文件设计器 >
taT;[Oa 3) 创建以下介电材料: ]hTYh^'e 名称:包层(Cladding) $6atr-Pb 折射率(Re :):1.442 9ET2uDZpL *>rpcS<l 4) 要保存资料,请单击“存储”。 Y>Q9?>}Q yd5r]6ej 5) 创建第二种介电材料: <||F$t @5Q}o3.zA- 名称:波导层(Guide) <I'kJ{" 折射率(Re :):1.45 K97lP~Hu $ t_s7 6) 要保存资料,请单击“存储”。 -cNh5~p= #wbaRx@rc 7) 创建以下通道: sLzcTGa2:z 轮廓名称:通道1 wlBdA 2D轮廓定义材料:波导(Guide) 2fTkHBhn& 8) 要保存通道,请单击“存储”。 ~ C6<75 9) 关闭轮廓文件设计器窗口。 UZMo(rG.]{ 将显示具有打开的“初始属性”对话框的OptiBPM GUI qO[6?q=c: ,7SLc+ 2. 定义系统设置 "cRc~4%K 要定义系统设置,请执行以下步骤。 J7t5B}} 步骤 操作 =PAvPj&}e 1 点击默认波导标签 E*>tFw&[ 2 在轮廓文件列表中,单击通道。 neJNMdv@T 3 单击“晶圆尺寸”选项卡 ;r>?V2,tm 4 键入以下值: =| S8.|r+ 长度:800 z,}1K! 宽度:50 DSYtj}> 5 单击“2D晶片属性”选项卡。 (qlIQC 6 在“材质”列表中,单击“包层(Cladding)”。 e{U`^ao`F8 7 要将设置应用于系统,请单击“确定”。 *RUB`tEL 出现布局窗口(参见图3)。 8,=Ti7_ b*qkox;j 图3.布局窗口 qqQnL[`)C 3. 创建弧形波导 Fp+^`;j 要创建弧形波导,请执行以下步骤。 wKe^5|Rr 步骤 操作 UP 1Y3 1) 从“绘制(Draw)”菜单中,选择“弧形波导”。 D}vgXzD 光标变成十字线。 }\=9l<| 2) 要在布局窗口中绘制弧形波导,请在布局的左侧单击,向布局窗口的右侧拖动弧,然后释放以完成绘制弧(参见图4)。 !Zgb|e8< vTQQd@ 图4.绘制一个弧形波导 _Akc7" 注意:弧形波导可以在任何位置并且可以是任何尺寸。 &5Ea6j 3) 单击 ,然后单击弧形波导选择它。 AUcq\Ys 4) 要编辑弧形波导,请从编辑菜单中选择属性。 KMhoG.$Ra 出现弧形波导属性对话框(参见图5) 2V/A% kf_s.Dedw 图5.弧形波导属性对话框 M:6H%6eT 5) 点击起始标签 %>Z=#1h/a 6) 在偏移下,键入以下值(见图6): m LPQ5`_ 水平:0 wd~e3%JM 垂直:-10 2W|4 ii2X7Q 图6.初始偏移值 9 }|Bs=q 7) 在“波导半径”下,选中“固定半径”复选框。 ?0hk~8c 激活表达式框(参见图7)。 7 ;|jq39 %Ub"V\1 图7.波导半径 5dT-{c%w4 8) 键入以下值: g10$pf+L 表达式:4000 !sEI|47{ 9) 单击终止选项卡。 b.47KJz t 10) 在偏移下,键入以下值(见图8): [{6]i J Horizontal:800 /],:sS7 垂直:-8 hz<kR@k} I?J$";A 图8终止偏移值 &E.0!BuqV 11) 输入以下值: fU!C: 宽度:4 VvSD&r^qI 12) 点击“OK”。 KArf:d 弧形波导的位置和大小根据您选择的设置而变化(参见图9)。 Ig"Krz ]x:>~0/L 图9.修改的弧形波导 ?(*KQ#d 4. 插入输入平面 H&[ CSc 要插入输入平面,请执行以下步骤。 eg~$WB;1 步骤 操作 zv <, 1) 从绘制菜单中选择输入平面。 [X#bDO<t 2) 要插入输入平面,请单击布局窗口的左侧。 DGO_fR5L 输入平面出现(参见图10)。 g}{Rk>k 8? W\kf$ 图10.输入平面 '1~mnmiP 3) 要编辑输入平面,请从编辑菜单中选择属性。 T mH# 出现“输入平面属性”对话框(参见图11)。 LDBxw yrR<F5xge ...... j +@1frp 7`6n]4e 未完待续 L7G':oA_`p 来源:讯技光电 1{_tV^3@
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